[发明专利]气体激光振荡器

权利要求书

1.一种气体激光振荡器，其特征在于，具有：

多个激光气体循环路径，该多个激光气体循环路径包括第一路径和第二路径；

第一放电管，其设置于所述第一路径；

第二放电管，其设置于所述第二路径；

激光电源，其向所述第一放电管供给第一高频电力，向所述第二放电管供给相位与所述第一高频电力的相位不同的第二高频电力；以及

匹配单元，其包括用于与所述第一路径中的放电负载取得阻抗匹配的第一线圈和第一电容器、以及用于与所述第二路径中的放电负载取得阻抗匹配的第二线圈和第二电容器，

其中，所述第一线圈、所述第一电容器、所述第二线圈以及所述第二电容器的各值是以使施加于所述第一放电管的电压的峰值与施加于所述第二放电管的电压的峰值之差处于500[V]～1000[V]的范围的方式决定的。

2.根据权利要求1所述的气体激光振荡器，其特征在于，

仅在所述第一放电管和所述第二放电管中的所述峰值高的一方的放电管的附近具备辅助电极。