[发明专利]气体激光振荡器

说明书

提供一种具备辅助电极的气体激光振荡器。本发明的气体激光振荡器的特征在于，具有：包括第一路径和第二路径的多个激光气体循环路径；设置于第一路径的第一放电管；设置于第二路径的第二放电管；激光电源，其向第一放电管供给第一高频电力，向第二放电管供给相位与第一高频电力的相位不同的第二高频电力；以及匹配单元，其包括用于与第一路径的放电负载取得阻抗匹配的第一线圈和第一电容器、以及用于与第二路径的放电负载取得阻抗匹配的第二线圈和第二电容器，其中，第一线圈和第二线圈以及第一电容器和第二电容器的各值是以使施加于第一放电管和施加于第二放电管的电压的峰值之差处于规定范围的方式决定的。

技术领域

本发明涉及一种气体激光振荡器，特别涉及一种具备辅助电极的气体激光振荡器。

背景技术

已知一种具备能够向两个激光气体循环路径输出相位相差180度的高频电力的激光电源的气体激光振荡器(例如日本特开昭60-161687号公报。以下称为“专利文献1”。日本特开2013-247261号公报。以下称为“专利文献2”。)。这种气体激光振荡器具备用于与放电负载(放电管、辅助电极、激光气体)取得阻抗匹配(进行谐振使得放电管电压最大)的包括线圈和电容器的匹配单元。激光电源经由匹配单元而向多个放电管和辅助电极供给高频电力。

为了使放电管开始放电(主放电)，需要事先使辅助电极开始放电(辅助放电)。在以尚未开始辅助放电的状态下提高了激光电源的输出的情况下，对放电管施加过大的电压，过大的电流流过激光电源，其结果，存在放电管、激光电源损坏、或者发出警报并停止的担忧。

在专利文献1中公开了以下技术：在激光气体进行循环的放电管的上游侧具备辅助电极，在开始主放电前通过辅助放电来供给电子，由此稳定且可靠地开始主放电。然而，需要与放电管的个数对应的辅助电极，存在难以削减成本这样的问题。

在专利文献2中公开了以下技术：将贯通孔设置于放电管，增加辅助电极的个数，由此实现主放电的稳定化。然而，除了放电管自身的成本增加之外，还需要定期更换高价的放电管和辅助电极。并且，存在如下问题：激光气体从设置有辅助电极的地方(O形环)泄漏，导致因激光功率的下降、电弧放电而引起放电管的损坏等重大的泄漏故障的风险增加。

这样，在现有技术中，存在为了可靠且稳定地开始主放电而需要与放电管同等个数的辅助电极这样的问题。

发明内容

本发明的目的在于提供一种相比以往而言放电的启动更快的气体激光振荡器。

本发明的一个实施例所涉及的气体激光振荡器的特征在于，具有：多个激光气体循环路径，该多个激光气体循环路径包括第一路径和第二路径；第一放电管，其设置于第一路径；第二放电管，其设置于第二路径；激光电源，其向第一放电管供给第一高频电力，向第二放电管供给相位与第一高频电力的相位不同的第二高频电力；以及匹配单元，其包括用于与第一路径中的放电负载取得阻抗匹配的第一线圈和第一电容器、以及用于与第二路径中的放电负载取得阻抗匹配的第二线圈和第二电容器，其中，第一线圈、第一电容器、第二线圈以及第二电容器的各值是以使施加于第一放电管的电压的峰值与施加于第二放电管的电压的峰值之差处于规定范围的方式决定的。

附图说明

通过与附图相关联的以下的实施方式的说明，本发明的目的、特征以及优点会变得更加明确。在该附图中，

图1是本发明的实施例1所涉及的气体激光振荡器的结构图，

图2是本发明的实施例1所涉及的气体激光振荡器中的激光电源、匹配单元、放电管以及辅助电极的结构图，

图3是本发明的实施例1所涉及的气体激光振荡器中的激光电源、匹配单元、放电管以及辅助电极的电路图，

图4是对第一路径和第二路径的各放电管施加相位相差180°的电压的情况下的电压波形的例子，