[发明专利]驻波干涉显微镜在审

专利信息
申请号: 201610863720.X 申请日: 2016-09-29
公开(公告)号: CN107014786A 公开(公告)日: 2017-08-04
发明(设计)人: R.道姆;X.韦格勒 申请(专利权)人: FEI公司
主分类号: G01N21/64 分类号: G01N21/64;G02B21/00
代理公司: 中国专利代理(香港)有限公司72001 代理人: 周学斌,陈岚
地址: 美国俄*** 国省代码: 暂无信息
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摘要:
搜索关键词: 驻波 干涉显微镜
【权利要求书】:

1.一种宽场干涉显微镜,包括:

—样品保持器,用于在分析位置处保持样品;

—照明器,用于用输入辐射来照射样品,从而促使其发射荧光;

—一对投影系统,布置在所述分析位置的相对侧处,以收集所述荧光的至少一部分并将相应的一对光束指引到光学组合元件的各对输入,其在那里进行光学干涉;

—检测器装置,用于检查来自所述组合元件的输出光,

其特征在于:

—照明器包括光学腔体,其被配置成在分析位置处产生输入辐射的驻波;

—所述检测器装置恰好包括两个干涉检测分支。

2.根据权利要求1所述的显微镜,其中,所述照明器包括:

—射束分离器,用以从单个源产生一对相干射束;

—一对反射器,用以指引所述一对相干射束中的每一个通过所述成对投影系统中的相应的一个,

由此,所述光学腔体包括所述射束分离器和所述一对反射器。

3.根据权利要求2所述的显微镜,其中,所述照明器包括布置在所述相干射束中的至少一个的路径中的可调整光学延迟元件。

4.根据权利要求1所述的显微镜,其中,所述照明器包括:

—激光器,位于所述分析位置的第一侧处,用以将输入射束沿着所述一对投影系统的公共光轴指引且在第一方向上通过所述样品;

—可移动反射镜,位于所述分析位置的第二、相对侧且被垂直于所述公共光轴布置,用以将所述输入射束本身反射回去并在第二、相反方向上通过所述样品。

5.根据权利要求1—4中的任一项所述的显微镜,其中,所述光学组合元件包括双向射束分离器。

6.根据权利要求1—5中的任一项所述的显微镜,其中,所述输入辐射包括:

—第一类型的辐射,用于激活样品中的选定荧光团;

—第二类型的辐射,用于激励一组已激活荧光团,具有荧光的结果产生的发射,

并且其中,使用所述第一类型或所述第二类型的辐射来产生所述驻波。

7.根据权利要求6所述的显微镜,其中:

—使用所述第一类型的辐射来产生所述驻波;

—所述选定荧光团在接近于所述驻波的局部最大值的样品的深度区域中被激活。

8.根据权利要求1—7中的任一项所述的显微镜,包括用于产生进入光学组合元件的光中的散光的波前修改部件。

9.一种使用宽场干涉显微镜的方法,包括:

—样品保持器,用于在分析位置处保持样品;

—照明器,用于用输入辐射来照射样品的一区域,从而促使所述区域中的至少一个荧光团发射荧光;

—一对投影系统,布置在所述分析位置的相对侧处,以收集所述荧光的至少一部分并将相应的一对光束指引到光学组合元件的各对输入,所述一对光束在光学组合元件的各对输入处进行光学干涉而产生干涉图;

—检测器装置,用于检查来自所述组合元件的输出光,

其特征在于通过以下步骤以检查来自所述组合元件的输出光:

(I)使用照明器来在分析位置处产生输入辐射的驻波;

(II)使用检测器装置来记录所述干涉图沿着精确地两个不同通道的强度分布;

(III)改变所述驻波的相位,并针对此相位改变波重复步骤(II);

(IV)使用在步骤(II)和(III)中记录的强度分布来导出所述荧光团相对于所述一对投影系统的公共光轴的轴向位置。

10.根据权利要求9所述的方法,其中,所述波前修改部件被用来产生进入光学组合元件的光中的散光。

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