[发明专利]阵列基板及其制造方法、OLED结构

说明书

本发明揭示了一种阵列基板及其制造方法、OLED结构。在本发明提供的阵列基板及其制造方法、OLED结构中，通过使得电容结构的第一电极层和第二电极层为多孔石墨烯材质，增大了电容密度，减小电容区面积，便于增大布线空间，能够更好地实现高PPI；通过使得第二电极层和栅极金属层构成双栅结构，降低了漏电流，有利于提高阵列基板的质量。

技术领域

本发明涉及显示领域，特别是涉及一种阵列基板及其制造方法、OLED结构。

背景技术

随着信息社会的发展，人们对显示设备的需求日益增长。柔性显示器以其轻薄、可弯折甚至卷曲、机械性能好的特点越来越受到人们的青睐。目前，柔性显示器在生活中的应用越来越广泛。柔性显示器包括柔性液晶显示器(LCD)和柔性有机发光二极管显示器(OLED)。柔性显示器通常制作在柔性载体上，由于柔性显示器其本身特有的可弯曲的特点，决定了它会有很多特殊的用户体验，也给其设计和制作带来了很大的挑战。

目前，高PPI的柔性显示器已经成为发展的必然趋势，这要求每个像素的尺寸越来越小，像素电路的布线空间也越小，然而在像素电路中电容占据空间最大，不利于获得高PPI。因此，如何在确保电容值的情况下，减小电容所占空间(也即减小即电容区面积)，成为一个重要的研究方向。

发明内容

本发明的目的在于，提供一种阵列基板及其制造方法、OLED结构，减小电容区面积，实现高PPI柔性显示。

本发明的另一目的在于，实现高PPI柔性显示的同时，降低漏电流。

本发明的又一目的在于，通过采用整面的电源电压走线，降低压降。

为解决上述技术问题，本发明提供一种阵列基板的制造方法，包括：

提供一基底；

在所述基底上依次形成第一电极层、第一介质层和第二电极层，获得电容结构，所述第一电极层和第二电极层均由多孔石墨烯制成；以及

在所述第二电极层上依次形成第二介质层、多晶硅层、第三介质层及栅极金属层。

可选的，对于所述的阵列基板的制造方法，获得电容结构的步骤包括：

采用化学气相沉积工艺形成第一石墨烯材料层；

光刻刻蚀所述第一石墨烯材料层，并采用激光照射，形成所述第一电极层；

在所述第一电极层周围形成第二绝缘层，所述第二绝缘层与所述第一电极层上表面齐平；

采用化学气相沉积工艺形成第一介质层；

采用化学气相沉积工艺在所述第一介质层上形成第二石墨烯材料层；

光刻刻蚀所述第一石墨烯材料层，并采用激光照射，形成所述第二电极层。

可选的，对于所述的阵列基板的制造方法，所述第一介质层的材料为聚酰亚胺，厚度为5μm～10μm。

可选的，对于所述的阵列基板的制造方法，在提供一基底之后、获得电容结构之前，还包括：

在所述基底上形成一层整面的第一金属层作为电源电压走线；

在所述第一金属层上形成第一绝缘层。

可选的，对于所述的阵列基板的制造方法，所述第一金属层的材质为钼，厚度为

可选的，对于所述的阵列基板的制造方法，所述绝缘层中形成有开口，所述第一电极层填充所述开口并与所述第一金属层相连接。

可选的，对于所述的阵列基板的制造方法，在所述第二电极层上依次形成第二介质层、多晶硅层、第三介质层及栅极金属层的步骤包括：