[发明专利]图像传感器

权利要求书

1.一种图像传感器，包括：

第一基板，所述第一基板包括第一表面和第二表面，所述第一表面和所述第二表面是所述第一基板的相反的表面，所述第一基板包括有源像素传感器区域、围绕所述有源像素传感器区域的光学黑传感器区域、和在所述光学黑传感器区域的一侧的周边电路区域，所述有源像素传感器区域包括光电转换区域；

微透镜，在所述第一表面上；

多层互连结构，在所述第二表面上；以及

散热层，在所述第一表面和/或所述第二表面上，所述散热层垂直地交叠所述周边电路区域的至少一部分和所述光学黑传感器区域两者，所述散热层包括人造金刚石层、石墨烯层和类金刚石碳层中的至少一个。

2.如权利要求1所述的图像传感器，其中所述散热层在所述第一基板的所述第一表面和所述微透镜之间。

3.如权利要求1所述的图像传感器，其中所述散热层在所述第二表面上，使得所述多层互连结构在所述散热层和所述第二表面之间。

4.如权利要求1所述的图像传感器，其中所述散热层垂直地交叠所述有源像素传感器区域。

5.如权利要求1所述的图像传感器，其中所述散热层在所述有源像素传感器区域的全部上。

6.如权利要求1所述的图像传感器，其中

所述散热层在所述多层互连结构上，并且

所述图像传感器还包括热辐射构件，所述热辐射构件连接到所述散热层的至少一部分。

7.如权利要求1所述的图像传感器，还包括：

第二基板，所述第二基板通过连接通路电联接到所述有源像素传感器区域，所述连接通路延伸穿过所述第一基板，所述第二基板具有顶表面，所述第二基板的所述顶表面面对所述第一基板的所述第二表面，所述第二基板包括电路区域，

其中所述散热层在所述第一基板的所述第二表面和所述第二基板的所述顶表面之间。

8.如权利要求7所述的图像传感器，其中

所述散热层与所述多层互连结构接触，并且

所述散热层在所述电路区域的全部上。

9.一种图像传感器，包括：

第一基板，所述第一基板包括第一表面和第二表面，所述第一表面和所述第二表面是所述第一基板的相反的表面，所述第一基板包括有源像素传感器区域、围绕所述有源像素传感器区域的光学黑传感器区域、和在所述光学黑传感器区域的一侧的周边电路区域，所述有源像素传感器区域包括光电转换区域，所述周边电路区域包括电路区域；

微透镜，在所述第一表面上；

多层互连结构，在所述第二表面上；以及

散热层，在所述第一表面和/或所述第二表面上，其中所述散热层垂直地交叠所述有源像素传感器区域的整个区域、所述光学黑传感器区域和所述电路区域。

10.如权利要求9所述的图像传感器，还包括：

第二基板，所述第二基板通过连接通路电联接到所述第一基板的所述有源像素传感器区域，所述连接通路延伸穿过所述第一基板，所述第二基板具有顶表面，所述顶表面面对所述第一基板的所述第二表面，所述第二基板包括电路区域，

其中所述散热层在所述第一基板的所述第二表面和所述第二基板的所述顶表面之间。

11.如权利要求10所述的图像传感器，其中所述散热层与所述多层互连结构接触并在所述电路区域的全部上。