[发明专利]光感测装置有效
申请号: | 201610889260.8 | 申请日: | 2016-10-12 |
公开(公告)号: | CN107946324B | 公开(公告)日: | 2020-10-27 |
发明(设计)人: | 刘侑宗;李淂裕 | 申请(专利权)人: | 群创光电股份有限公司 |
主分类号: | H01L27/146 | 分类号: | H01L27/146 |
代理公司: | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人: | 陈小雯 |
地址: | 中国台湾新竹*** | 国省代码: | 台湾;71 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 光感测 装置 | ||
1.一种光感测装置,其特征在于:包括
基板;
栅极绝缘层;
第一金属层,位于该栅极绝缘层的一侧,该第一金属层包含栅极线以及栅极,且该栅极与该栅极线电连接;
第一介电层,位于该第一金属层上;
光电二极管,在该第一介电层中形成的一开口内形成;
主动层,与该栅极绝缘且与该光电二极管至少有部分重叠;以及
第二金属层,位于该第一介电层上,该第二金属层包含数据线和参考电位线,该参考电位线位于该光电二极管的上方,
其中该第一金属层包括多条栅极线,该第二金属层包括多条数据线和多条参考电位线,该些栅极线和该些数据线交错设置而定义多个像素区,其中该些像素区包括第一像素区,其中该些参考电位线包括第一参考电位线,围绕于该第一像素区的周围。
2.如权利要求1所述的光感测装置,其特征在于,该光电二极管还包括光电层和导电层,该导电层位于该光电层和该参考电位线之间。
3.如权利要求2所述的光感测装置,其特征在于,该参考电位线与该导电层电连接。
4.如权利要求3所述的光感测装置,其特征在于,还包括保护层,该保护层位于该导电层上且具有接触孔,其中该参考电位线填入该接触孔中以与该导电层电连接。
5.如权利要求1所述的光感测装置,其特征在于,该些像素区还包括第二像素区,其中该些参考电位线还包括第二参考电位线,围绕于该第二像素区的周围,且该第一参考电位线和该第二参考电位线电连接。
6.如权利要求1所述的光感测装置,其特征在于,该数据线和该参考电位线不相连。
7.如权利要求2所述的光感测装置,其特征在于,该光电层包括第一掺杂层、本质层、和第二掺杂层,该本质层位于该第一掺杂层和该第二掺杂层之间,且其中该主动层包括该第一掺杂层。
8.如权利要求1所述的光感测装置,其特征在于,该光感测装置为一指纹辨识装置。
9.如权利要求1所述的光感测装置,其特征在于,该光感测装置为一X光影像感测装置。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
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H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的