[发明专利]EUV用防尘薄膜组件

权利要求书

1.一种EUV用防尘薄膜组件，至少具有防尘膜，所述防尘膜在一方的端面上通过接着层贴附的防尘薄膜组件框架，所述防尘薄膜组件框架的另一方的端面上设置的粘着层，其特征在于，所述接着层为对接着剂100质量份添加热传导性充填剂100～4，000质量份的接着剂组合物的EUV用防尘薄膜组件。

2.根据权利要求1的EUV用防尘薄膜组件，其特征在于，EUV用防尘薄膜组件的热传导性充填剂为从由金属氧化物的粉末，金属碳酸盐的粉末，金属氢氧化物的粉末，氮化物的粉末，碳化硅的粉末以及金刚石的粉末组成的组中选择的至少1种。

3.根据权利要求1的EUV用防尘薄膜组件，其特征在于，热传导性充填剂为从由氧化铝，氧化钛以及氧化锌组成的群中选择的至少1种。

4.根据权利要求1的EUV用防尘薄膜组件，其特征在于，所述热传导性充填剂为，从由氢氧化铝以及氢氧化镁组成的组中选择的至少1种。

5.根据权利要求1的EUV用防尘薄膜组件，其特征在于，其中所述热传导性充填剂为从由氮化硼以及氮化铝组成的组中选择的至少1种。

6.根据权利要求1～5的任一项的EUV用防尘薄膜组件，其中所述接着剂为有机硅系接着剂。

7.根据权利要求1～5的任一项的EUV用防尘薄膜组件，其中接着剂为丙烯酸系接着剂。

8.根据权利要求1～5的任一项的EUV用防尘薄膜组件，其中接着剂的150℃×1000小时的耐热试验后的铝拉伸剪切接着强度为试验前的初期值的70％以上的值。

9.根据权利要求1～5的任一项的EUV用防尘薄膜组件，其中接着剂为从由信越化学工业株式会社制的商品名KE－101A/B，KE－1285A/B，KE－1803A/B/C，KE－1854，KE－1880的产品以及综研化学株式会社制的商品名SK－1425产品组成的群中选择的至少1种。