[发明专利]粒子光学系统及布置与用于该系统及布置的粒子光学组件

权利要求书

1.一种带电粒子多小波束系统，包含：

带电粒子的源；

多孔径板，其布置在所述系统的带电粒子束路径中所述源的下游，其中所述多孔径板包含多个孔，所述多个孔形成具有布置在基本图案的位置处的孔径的第一多孔径阵列；

多孔径选择器板，其具有主面和形成多个多孔径阵列的多个孔，所述多个多孔径阵列至少包含第二多孔径阵列和第三多孔径阵列，其中所述第二多孔径阵列和所述第三多孔径阵列的孔径布置在所述基本图案的位置处；

载体，其中所述多孔径选择器板安装在所述载体上；

致动器，构造为移动所述载体，使得将所述多孔径选择器板布置在所述系统的带电粒子束路径中所述源的下游，并且能够在平行于其主面的方向上位移；

其中，所述源、所述多孔径板和所述载体被布置为使得在所述多孔径板和所述多孔径选择器板二者下游的位置处产生第一数量的带电粒子小波束；以及

其中，所述多孔径选择器板的孔径具有直径，以及其中所述第三多孔径阵列的孔径的直径大于所述第二多孔径阵列的孔径的直径。

2.根据权利要求1所述的带电粒子多小波束系统，其中所述致动器构造为在第一操作模式中将所述第二多孔径阵列插入所述带电粒子束路径中，以及在第二操作模式中将所述第三多孔径阵列插入所述带电粒子束路径中。

3.根据权利要求2所述的带电粒子多小波束系统，其中在所述第一操作模式中在所述多孔径板和所述多孔径选择器板二者下游的位置处产生第一数量的带电粒子小波束，在所述第二操作模式中在所述多孔径板和所述多孔径选择器板二者下游的位置处产生第二数量的带电粒子小波束，所述第一数量不同于所述第二数量。

4.根据权利要求1所述的带电粒子多小波束系统，还包含聚焦透镜，其布置在所述多孔径板和所述多孔径选择器板二者下游的束路径中。

5.根据权利要求4所述的带电粒子多小波束系统，还包含载台，用于将物体安装在位于所述聚焦透镜下游的物平面中。

6.根据权利要求4所述的带电粒子多小波束系统，还包含第一电压源，其构造为将第一电压提供给所述多孔径板，使得穿过所述多孔径板的孔径的带电粒子小波束各自在所述多孔径板下游的一距离处具有小波束焦点。

7.根据权利要求6所述的带电粒子多小波束系统，其中，所述聚焦透镜被构造为使得所述小波束焦点成像于物平面上。

8.根据权利要求4所述的带电粒子多小波束系统，还包含具有孔径的场分离电极，其布置在所述聚焦透镜下游且在物平面上游的带电粒子束路径中。

9.根据权利要求8所述的带电粒子多小波束系统，其中，所述场分离电极的孔径的直径小于2.0mm。

10.根据权利要求8所述的带电粒子多小波束系统，其中，所述场分离电极的孔径的直径小于1.5mm。

11.根据权利要求8所述的带电粒子多小波束系统，其中，所述场分离电极的孔径的直径小于1.0mm。

12.根据权利要求8所述的带电粒子多小波束系统，其中，所述场分离电极的孔径的直径小于0.8mm。

13.根据权利要求8所述的带电粒子多小波束系统，其中，所述场分离电极的孔径的直径小于0.6mm。

14.根据权利要求8所述的带电粒子多小波束系统，其中，所述场分离电极的孔径的直径小于0.4mm。

15.根据权利要求8所述的带电粒子多小波束系统，还包含第二电压源和第三电压源，该第二电压源被构造为将第二电压提供给所述场分离电极，该第三电压源被构造为将第三电压提供给物体。