[发明专利]晶片封装体及其制造方法在审
申请号: | 201610905650.X | 申请日: | 2016-10-18 |
公开(公告)号: | CN106611715A | 公开(公告)日: | 2017-05-03 |
发明(设计)人: | 何彦仕;刘沧宇;李柏汉;廖季昌 | 申请(专利权)人: | 精材科技股份有限公司 |
主分类号: | H01L21/56 | 分类号: | H01L21/56;H01L23/29;H01L23/48 |
代理公司: | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙)11277 | 代理人: | 刘新宇 |
地址: | 中国台湾桃园市中*** | 国省代码: | 台湾;71 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 晶片 封装 及其 制造 方法 | ||
1.一种晶片封装体,其特征在于,包括:
一基底,其中该基底内具有一感测区或元件区;
一第一导电结构,其中该第一导电结构位于该基底上,且与该感测区或元件区电性连接;以及
一无源元件,其中该无源元件纵向地堆迭于该基底上,且与该第一导电结构横向排列。
2.根据权利要求1所述的晶片封装体,其特征在于,还包括一第二导电结构,其中该第二导电结构与该基底位于该无源元件的相对两侧。
3.根据权利要求2所述的晶片封装体,其特征在于,该第二导电结构的材料相同于该第一导电结构的材料。
4.根据权利要求2所述的晶片封装体,其特征在于,该第二导电结构的顶部大致上对齐于该第一导电结构的顶部。
5.根据权利要求2所述的晶片封装体,其特征在于,该第二导电结构的尺寸小于该第一导电结构的尺寸。
6.根据权利要求1所述的晶片封装体,其特征在于,该无源元件通过一接合结构接合于该基底上。
7.根据权利要求6所述的晶片封装体,其特征在于,该接合结构与该第一导电结构位于相同层位。
8.根据权利要求6所述的晶片封装体,其特征在于,该接合结构由一接合层所环绕,且该接合层的材料不同于该接合结构的材料。
9.根据权利要求8所述的晶片封装体,其特征在于,该接合层的材料相同于该第一导电结构的材料。
10.根据权利要求1所述的晶片封装体,其特征在于,该无源元件的厚度小于该第一导电结构的厚度。
11.根据权利要求1所述的晶片封装体,其特征在于,该无源元件与该感测区或元件区重迭。
12.一种晶片封装体的制造方法,其特征在于,包括:
提供一基底,其中该基底内具有一感测区或元件区;
在该基底上形成一第一导电结构,其中该第一导电结构与该感测区或元件区电性连接;以及
将一无源元件纵向地堆迭于该基底上,其中该无源元件与该第一导电结构横向排列。
13.根据权利要求12所述的晶片封装体的制造方法,其特征在于,还包括在将该无源元件纵向地堆迭于该基底上之前,在该基底上形成一接合层,其中将具有一接合结构的该无源元件纵向地堆迭于该基底上,使得该接合结构嵌入该接合层内。
14.根据权利要求13所述的晶片封装体的制造方法,其特征在于,通过相同的制程形成该接合层及该第一导电结构。
15.根据权利要求13所述的晶片封装体的制造方法,其特征在于,还包括对该第一导电结构及该接合层进行回焊制程。
16.根据权利要求12所述的晶片封装体的制造方法,其特征在于,还包括:
在将该无源元件纵向地堆迭于该基底上之前,在该无源元件上形成一第二导电结构,其中将具有该第二导电结构的该无源元件纵向地堆迭于该基底上。
17.根据权利要求16所述的晶片封装体的制造方法,其特征在于,该第二导电结构的顶部与该第一导电结构的顶部大致上共平面。
18.根据权利要求16所述的晶片封装体的制造方法,其特征在于,通过相同的制程形成该第二导电结构及第一导电结构。
19.根据权利要求16所述的晶片封装体的制造方法,其特征在于,还包括对该第一导电结构及该第二导电结构进行回焊制程。
20.根据权利要求12所述的晶片封装体的制造方法,其特征在于,还包括在将该无源元件纵向地堆迭于该基底上之前,对该基底进行切割制程。
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H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
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