[发明专利]一种液晶显示器面板制造中的周边曝光方法

说明书

技术领域

本发明属于显示技术领域，尤其涉及一种液晶显示器面板制造中的周边曝光方法。

背景技术

随着液晶行业的高速发展，面板尺寸变得更加多样化；随之而来的是前期的高投入，必然需要后期的高回报来满足。因此，如何实现利益最大化是决策者们最先关注的一个论题。很大程度上，提高基板利用率是研发部门优先考虑的一个方向。另外，由于每个尺寸都存在空间利用率高、剩余空间狭小的问题，我们更应该从其他方面寻求方法节省基板使用面积。

通常，在面板制造过程中，需要在母基板上形成多层薄膜图案，即需要采用多块掩膜版逐一叠加曝光处理，另由于掩膜版尺寸的限制，母基板每层图案的形成往往需要多扫描(scan)。每块掩膜版包括中心图案区域以及位于其外围的周边区域，周边区域具有周边曝光图案(或者称周边图案)，形成每层薄膜图案时，需先对中心图案区域进行曝光，再对周边区域进行曝光，掩膜版上的图案转移至母基板上。周边曝光图案作为监控周边曝光设备精度的标志性设计，它的存在既有必要性又有可行性。但是，周边曝光图案的大小将直接影响母板有效区域利用率。

现有技术中，每层周边曝光图案在基板上位置分开。以IGZO制程为例，4扫描(Scan)的母基板周边曝光设计图案如图1，每个scan每层周边曝光图案为分布在四角的四组，每组为X方向和Y方向图案，不同层别周边曝光的长度是不同的，其他层参照第一层的刻度对比设计规格值，判断周边曝光是否出错。如图2、图3，由于每层周边曝光图案在基板上位置分开，根据层别的数量多少，周边曝光图案(或称周边图案，标记，mark)宽度相应增加，Panel间距大小将受周边曝光图案宽度大小限制，不利于提高母基板有效区域利用率，这种情况在Scan相交部(图1中B处)体现的尤为明显。

因此，如何设计周边曝光图案扩大母基板有效区域利用率是需要解决的技术问题。

发明内容

发明目的：针对现有技术中存在的问题，本发明提供了一种液晶显示器面板制造中的周边曝光方法，提高母基板有效区域利用率。

技术方案：本发明所述的液晶显示器面板制造中的周边曝光方法，包括通过对掩膜版的周边区域进行曝光使母基板上形成N层薄膜周边图案，其中N≥3，N层薄膜由深色材料膜层和浅色材料膜层组成，第1层薄膜周边图案为衡量标尺；第2～N层中，上下相邻的浅色材料膜层构成浅色材料膜层组，所述的浅色材料膜层组中至少有两层周边图案位置部分重合或全部重合，深色材料膜层周边图案与其上方的任意一层浅色材料膜层周边图案位置不重合，任意两个深色材料膜层周边图案位置不重合。

由于面板生产中不同薄膜材料与光刻胶的颜色差异，本发明对薄膜周边图案根据一定的原则适当重叠，能够减小每个独立周边图案的基板使用面积，从而提高母基板有效区域利用率，同时在生产中，不同层图案叠放后，能够分辨出当层。

本领域人员公知，在液晶显示器面板制造中，在材质上，N层薄膜由非金属膜和金属膜两者共同组成，以形成所需图案，本发明中，以光刻胶的颜色为基准，将N层薄膜分成两类，一类是与光刻胶颜色差别不大，肉眼不可辨识区别，命名为深色材料膜层，另一类是与光刻胶颜色差别较大，肉眼可区分膜层与光刻胶，命名为浅色材料膜层。

本发明中，第1层是指最先形成的一层，也是最邻近母基板板面的一层，依次往上类推，第N层指最后形成的一层，也是最远离母基板板面的一层。

优选的，第1层薄膜周边图案与其他任意层薄膜周边图案位置不重合。有利于清晰读取其他层示数。

由于处于下方的浅色材料膜层周边图案并不影响处于上方的深色材料膜层周边图案的辨识，为进一步节省空间，优选的，深色材料膜层周边图案与其下方的浅色材料膜层周边图案位置部分重合或全部重合。

优选的，深色材料膜层周边图案与其下方相邻的浅色材料膜层周边图案位置部分重合或全部重合。

优选的，不同的浅色材料膜层组的周边图案位置不重合。

优选的，每个浅色材料膜层组的层数≤6，所有的浅色材料膜层周边图案位置部分重合或全部重合。

优选的，每个浅色材料膜层组的层数＞6，将浅色材料膜层组顺次分成多个子组，每个子组的层数不超过6层，每个子组中，所有的浅色材料膜层周边图案位置部分重合或全部重合，不同子组之间的周边图案位置不重合。可以减少叠放区域图案过厚脱落的风险。

优选的，第2～N层薄膜周边图案为线性图案。线性图案结构简单且易于辨识。

优选的，深色材料为金属材料，浅色材料为非金属材料。