[发明专利]一种用于材料拆层的喷嘴及其制造方法

权利要求书

1.一种用于材料拆层的喷嘴，其特征在于，包含：

一上基板，包含至少两个沿一通道方向排列的第一凸出部以及一设置于该些第一凸出部之间的第一凹陷部；以及

一和该上基板相隔设置的下基板，包含至少两个沿该通道方向排列且与该上基板相对设置的第二凸出部以及一设置于该些第二凸出部之间的第二凹陷部，该第一凸出部和该第二凸出部对应设置且彼此间形成一第一流道，该第一凹陷部和该第二凹陷部对应设置且彼此间形成一第二流道；

其中，该上基板的该第一凸出部和该下基板的该第二凸出部由一图案化工艺制作。

2.根据权利要求1所述的喷嘴，其特征在于，该上基板和该下基板择自于钻石、蓝宝石、六方氮化硼及碳化硅所组成的群组。

3.根据权利要求1所述的喷嘴，其特征在于，该第一流道具有一第一间距，该第二流道具有一第二间距，该第一间距介于30微米至400微米之间，该第二间距介于500微米至2000微米之间。

4.一种用于材料拆层的喷嘴，其特征在于，包含：

一上基板，包含至少两个沿一通道方向排列的第一凸出部以及一设置于该些第一凸出部之间的第一凹陷部；以及

一和该上基板相隔设置的下基板，包含至少两个沿该通道方向排列且与该上基板相对设置的第二凸出部以及一设置于该些第二凸出部之间的第二凹陷部，该第一凸出部和该第二凸出部错位设置，该第一凹陷部和该第二凹陷部错位设置，而该第一凸出部和该第二凹陷部之间形成一第三流道，该第二凸出部和该第一凹陷部之间形成一第四流道；

其中，该上基板的该第一凸出部和该下基板的该第二凸出部由一图案化工艺制作。

5.根据权利要求4所述的喷嘴，其特征在于，该第三流道具有一第三间距，该第四流道具有一第四间距，该第三间距介于500微米至2000微米之间，该第四间距介于30微米至400微米之间。

6.一种用于材料拆层的喷嘴的制造方法，其特征在于，包含以下步骤：

提供一上基板和一下基板；

利用一图案化工艺于该上基板与该下基板相对的一侧形成至少两个沿一通道方向排列的第一凸出部以及一设置于该些第一凸出部之间的第一凹陷部；以及

利用该图案化工艺于该下基板与该上基板相对的一侧形成至少两个沿该通道方向排列的第二凸出部以及一设置于该些第二凸出部之间的第二凹陷部。

7.根据权利要求6所述的制造方法，其特征在于，该第一凸出部与该第二凸出部对应设置且彼此间形成一第一流道，该第一凹陷部与该第二凹陷部对应设置且彼此间形成一第二流道，该第一流道具有一第一间距，该第二流道具有一第二间距，该第一间距小于该第二间距。

8.根据权利要求6所述的制造方法，其特征在于该第一凸出部与该第二凸出部错位设置，该第一凹陷部与该第二凹陷部错位设置，该第一凸出部和该第二凹陷部之间形成一第三流道，该第二凸出部和该第一凹陷部之间形成一第四流道，该第三流道具有一第三间距，该第四流道具有一第四间距，该第三间距大于该第四间距。