[发明专利]测试机台有效

专利信息
申请号: 201610933382.2 申请日: 2016-10-31
公开(公告)号: CN108010856B 公开(公告)日: 2020-07-28
发明(设计)人: 王侃晟 申请(专利权)人: 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司;中芯国际集成电路制造(北京)有限公司
主分类号: H01L21/66 分类号: H01L21/66
代理公司: 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 代理人: 屈蘅;李时云
地址: 201203 *** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 测试 机台
【权利要求书】:

1.一种测试机台,其特征在于,包括:

测试腔体,所述测试腔体的内壁顶部设有可吸水的集水件,所述集水件上附着有附着剂,以吸收所述测试腔体中的颗粒;所述附着剂包括分散剂,以用于帮助所述集水件在湿润情况下后推进颗粒附着力的扩散,以致所述集水件边缘也具有充分吸附颗粒的能力;

控制器,所述控制器用于调节所述测试腔体内部的温度或湿度。

2.根据权利要求1所述的测试机台,其特征在于,所述集水件为海绵或吸水纸。

3.根据权利要求2所述的测试机台,其特征在于,所述海绵和所述吸水纸能够经受170℃以上的温度。

4.根据权利要求1所述的测试机台,其特征在于,所述附着剂的成分包括氨基树脂或丙烯酸树脂。

5.根据权利要求1所述的测试机台,其特征在于,所述集水件通过一固定件设置在所述测试腔体的内壁顶部。

6.根据权利要求1-5中任意一项所述的测试机台,其特征在于,所述测试机台还包括排水件。

7.根据权利要求6所述的测试机台,其特征在于,所述排水件为倾斜顶面,所述倾斜顶面向所述述测试腔体的侧壁倾斜。

8.根据权利要求7所述的测试机台,其特征在于,所述倾斜顶面的形状为弧面。

9.根据权利要求7所述的测试机台,其特征在于,所述倾斜顶面的表面设有疏水层。

10.根据权利要求1-5中任意一项所述的测试机台,其特征在于,所述测试腔体内还设有用于向所述测试腔体的内部吹风的风扇。

11.根据权利要求1-5中任意一项所述的测试机台,其特征在于,所述测试腔体内还设有用于支撑物品的支架。

12.根据权利要求1-5中任意一项所述的测试机台,其特征在于,所述测试机台用于测试半导体器件性能。

13.根据权利要求12所述的测试机台,其特征在于,所述集水件设置于所述半导体器件正上方。

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