[发明专利]改良式同轴探针结构

说明书

本发明提供一种改良式同轴探针结构，其包括：一座体，具有一第一连接部；一连接器，具有一第二连接部，供连接至该座体的第一连接部；一同轴探针，该同轴探针以一连接端连接至该连接器的一底部，并从该底部向下延伸至一探测端，且该连接端和该探测端之间具有至少一夹角；以及一弹性件，连接该座体与该同轴探针的连接端和探测端之间。

技术领域

本发明涉及一种改良式同轴探针结构，尤指一种用于高频元件测试的改良式同轴探针结构。

背景技术

半导体元件的制造流程可概分为晶圆制造、晶圆测试及封装程序。晶圆测试程序中包括以探针接触晶片上的焊垫，再将测试机台的测试信号通过探针输入晶片，以测试晶片的各种性能。晶圆测试所用的探针结构应具有弹性，以在测试时能下压而维持与焊垫的接触，其中悬臂式探针结构为目前最常见的弹性探针结构。

随着行动装置产业的发展，近年来对高频元件的需求与日俱增，在进行高频元件晶圆测试时，为了降低杂讯的干扰，常会使用具有较佳杂讯遮蔽性的探针，例如由同轴电缆(coaxial cable)制成的悬臂式探针。在实际的生产线上，测试机台一天可能需要进行数十万次的测试，也就是说，探针在一天的内需要经历数十万次的下压动作，市场上目前有多种用于高频晶片测试的同轴探针，然而，这些探针的共同问题是，在长时间的循环使用后，由于探针的的金属疲劳而产生垂直变形，此一变形将导致探针标记(probe mark)偏移以及和焊垫的接触不良。

发明内容

有鉴于此，为解决上述的问题，本发明提供一种改良式同轴探针结构，能有效改进改良式同轴探针结构在长时间循环使用后的变形问题，进而延长同轴探针的使用寿命，且其构造简单，可轻易应用于现有的同轴探针上。

为达上述目的，本发明提供一种改良式同轴探针结构，其特征在于，包括：

一座体，具有一第一连接部；

一连接器，具有一第二连接部，供连接至该座体的该第一连接部；

一同轴探针，该同轴探针以一连接端连接至该连接器的一底部，并从该底部向下延伸至一探测端，且该连接端和该探测端之间具有至少一夹角；以及

一弹性件，一端连接该座体，另一端连接在该同轴探针的该连接端和该探测端之间。

于实施时，前述夹角大于90度且小于180度。

于实施时，前述弹性件连接于前述夹角处。

于实施时，前述弹性件是一弹簧。

于实施时，前述弹性件由一具有弹性的聚合物所构成。

本发明具有以下优点：

1.本发明所提供的改良式同轴探针结构，其构造简单且易于实施，可轻易应用于现有的同轴探针上。

2.本发明所提供的改良式同轴探针结构能有效改进改良式同轴探针结构在长时间循环使用后的变形问题，因此能提升晶片测试的准确度，并能延长同轴探针的使用寿命，如此一来可以降低更换同轴探针的频率，如此提升测试效率并节省测试成本。

为对于本发明的特点与作用能有更深入的了解，兹凭借实施例配合图式详述于后。

附图说明

图1为本发明一种改良式同轴探针结构的一实施例的示意图。

图2A及图2B为对本发明的改良式同轴探针结构的一实施例实施一针测行程的结果。

图3为对本发明的改良式同轴探针结构的一实施例实施一针测行程的结果。

附图标记说明：10座体；11第一连接部；20连接器；21第二连接部；30同轴探针；31连接端；32探测端；33第一段；34第二段；40弹性件；θ夹角；Y距离；ΔY变化量。