[发明专利]压电致动器、层叠致动器、压电马达、机器人以及机械手

权利要求书

1.一种压电致动器，其中，具备：

两个基板；

压电元件，所述压电元件配置于所述两个基板之间；以及

覆盖部，所述覆盖部覆盖所述压电元件的至少一部分，

所述基板具有振动部以及支承所述振动部的支承部，

所述压电元件设置于所述振动部，

所述压电致动器具备：

布线层，所述布线层被配置成连接所述振动部和所述支承部；以及

电路基板，所述电路基板与所述布线层电连接，并与所述支承部连接。

2.一种压电致动器，其中，具备：

两个基板，所述两个基板被配置为在俯视视角下至少有一部分重叠；

压电元件，所述压电元件分别配置于在所述俯视视角下所述两个基板重叠的区域中的、所述两个基板彼此相向侧的面上；以及

覆盖部，所述覆盖部覆盖两个所述压电元件的各自的至少一部分，

所述基板具有振动部以及支承所述振动部的支承部，

两个所述压电元件设置于所述振动部，

所述压电致动器具备：

布线层，所述布线层被配置成连接所述振动部和所述支承部；以及

电路基板，所述电路基板与所述布线层电连接，并与所述支承部连接。

3.根据权利要求2所述的压电致动器，其中，

在两个所述覆盖部之间配置有粘接层。

4.根据权利要求2所述的压电致动器，其中，

所述覆盖部覆盖所述压电元件的整体。

5.根据权利要求2或4所述的压电致动器，其中，

所述覆盖部覆盖所述支承部的周围的至少一部分。

6.根据权利要求2至4中任一项所述的压电致动器，其中，

在所述振动部的前端具有突出的区域。

7.根据权利要求5所述的压电致动器，其中，

在所述振动部的前端具有突出的区域。

8.一种层叠致动器，其中，

层叠有多个权利要求1至7中任一项所述的压电致动器。

9.一种压电马达，其中，具备：

权利要求1至7中任一项所述的压电致动器或者权利要求8所述的层叠致动器。

10.一种机器人，其中，具备：

权利要求9所述的压电马达。

11.一种机械手，其中，具备：

权利要求9所述的压电马达。

12.一种送液泵，其中，具备：

权利要求9所述的压电马达。