[发明专利]压电致动器、层叠致动器、压电马达、机器人以及机械手

说明书

本发明提供一种压电致动器、层叠致动器、压电马达、机器人、机械手。压电致动器(10)具备两个基板(200)；配置于两个基板(200)之间的压电元件(110a～110e)；以及覆盖压电元件110a～110e的周围的至少一部分的覆盖部(260)。

技术领域

本发明涉及压电致动器以及使用该压电致动器的各种装置。

背景技术

已知在垫片材料的两个面粘接压电体，且该压电体的周围用树脂覆盖的压电致动器(例如，专利文献1)。

专利文献1：日本特开2006-80318号公报

专利文献1的压电致动器由于压电体处于垫片材料的两面(外侧)，有可能受到外部损伤。特别是在将压电体设为薄膜的情况下，由于压电体受到外部损伤，存在其功能受损的可能性。

发明内容

本发明就是为了解决上述问题而完成的，能够作为以下方式实现。

(1)根据本发明的一方式，提供一种压电致动器。该压电致动器具备：两个基板；压电元件，上述压电元件配置于上述两个基板之间；以及覆盖部，上述覆盖部覆盖上述压电元件的至少一部分。根据该方式，压电元件被两个基板和覆盖部保护，因此难以受到外部损伤。

(2)根据本发明的一方式，提供一种压电致动器。该压电致动器具备：两个基板，上述两个基板被配置为在俯视视角下至少有一部分重叠；压电元件，上述压电元件分别配置于在上述俯视视角下上述两个基板重叠的区域中的、上述两个基板彼此相向侧的面上；以及覆盖部，上述覆盖部覆盖上述两个压电元件的各自的至少一部分。根据该方式，压电元件由覆盖部覆盖，并且分别配置于至少一部分重叠地配置的两个基板的彼此相向侧的面上，因此，也由两个基板保护，从而难以受到外部损伤。

(3)在上述方式中，也可以在上述两个覆盖部之间配置粘接层。根据该方式，由于在两个覆盖部之间配置粘接层，所以两个覆盖部难以剥离，压电元件容易被保护。

(4)在上述方式中，也可以构成为，上述基板具有振动部以及支承上述振动部的支承部，上述两个压电元件设置于上述振动部。根据该方式，能够减少支承部的振动，并且能够提高基板的强度。

(5)在上述方式中，也可以构成为，上述覆盖部覆盖上述压电元件的整体。根据该方式，覆盖部覆盖压电元件的整体，因此压电元件容易被保护。

(6)在上述方式中，也可以构成为，上述覆盖部覆盖上述支承部的周围的至少一部分。根据该方式，上述覆盖部覆盖上述支承部的周围的至少一部分，因此也能够保护支承部。

(7)在上述方式中，也可以构成为，在上述振动部的前端具有突出的区域。根据该方式，能够使用突出的区域将振动部的振动传递至其他的部件。

(8)在上述方式中，也可以构成为，上述压电致动器具备：布线层，上述布线层被配置成连接上述振动部和上述支承部；以及电路基板，上述电路基板与上述布线层电连接，并与上述支承部连接。由于电路基板与支承部连接，所以电路基板难以受到振动部的振动的影响。

(9)根据本发明的一方式，提供一种层叠致动器。该层叠致动器层叠有多个上述方式的任一个所记载的压电致动器。根据该方式，能够较大地产生层叠致动器的驱动力。

本发明能够以各种方式实现，例如，除了压电致动器、层叠致动器之外，还能够以具备压电致动器或者层叠致动器的压电马达、具备压电马达的机器人、机械手、送液泵等各种方式实现。

附图说明

图1A是示出压电致动器的概要结构的主视图。

图1B是压电致动器的截面图。

图1C是压电致动器的侧视图。

图2A是压电致动器单元的俯视图。