[发明专利]湿式制程设备

权利要求书

1.一种湿式制程设备，用以支撑一基板，所述基板具有一板体部及一侧边部，所述侧边部延伸于所述板体部，所述板体部具有一上表面及一下表面，所述下表面相反于所述上表面，其特征在于，所述湿式制程设备包含：

一槽体，其内形成有一槽室，所述槽室用以容置所述基板；

多个液浮载板，设置在所述下表面下方，所述多个液浮载板用以对所述下表面喷射一处理液，以对所述下表面进行表面处理并支撑所述板体部；以及

多个导轮，对应于所述侧边部并用以输送所述基板，各导轮包含：

一轮轴部，具有一径向及一轴向，所述径向垂直于所述轴向，所述导轮绕所述轴向旋转；以及

一轮体部，沿所述径向延伸于所述轮轴部，所述轮体部具有一胎面，所述胎面上形成有多个导轮出水孔，所述多个导轮出水孔用以对所述侧边部喷射所述处理液，以对所述侧边部进行表面处理并支撑所述侧边部。

2.如权利要求1所述的湿式制程设备，其特征在于，所述轮轴部内形成有一供液腔室，用以供应所述处理液，所述轮体部内形成有多个供液信道，各供液信道连通于所述供液腔室与所述多个导轮出水孔的其中之一。

3.如权利要求2所述的湿式制程设备，其特征在于，各供液信道为一直线型信道。

4.如权利要求3所述的湿式制程设备，其特征在于，各供液通道的走向通过所述轮轴部的轴心，且各导轮出水孔的法线垂直于所述胎面。

5.如权利要求3所述的湿式制程设备，其特征在于，各供液通道的走向相切于所述轮轴部的外周围，且各导轮出水孔的法线垂直于所述胎面。

6.如权利要求2所述的湿式制程设备，其特征在于，各供液信道为一曲线型信道，且各导轮出水孔的法线不垂直于所述胎面。

7.如权利要求1所述的湿式制程设备，其特征在于，所述轮体部内形成有一储液腔室，用以储存并供应所述处理液，所述轮体部内还形成有多个供液信道，各供液信道连通于所述储液腔室与所述多个导轮出水孔的其中之一。

8.如权利要求1所述的湿式制程设备，其特征在于，所述槽体形成有连通于所述槽室的一入口，所述多个导轮用以将所述基板沿一输送方向通过所述入口送入所述槽室内。

9.如权利要求8所述的湿式制程设备，其特征在于，所述槽体还形成有相对于所述入口的一出口，所述多个导轮还用以将所述基板沿所述输送方向通过所述出口送出所述槽室外。

10.如权利要求9所述的湿式制程设备，其特征在于，还包含：

一入口闸门，枢接于所述槽体邻近所述入口处，所述入口闸门用以选择性地关盖所述入口；以及

一出口闸门，枢接于所述槽体邻近所述出口处，所述出口闸门用以选择性地关盖所述出口。