[发明专利]湿式制程设备

说明书

技术领域

本发明涉及一种湿式制程设备，特别是涉及一种可在制程中减少对基板的磨耗及可对基板进行双面制程的湿式制程设备。

背景技术

一般而言，业界多采用湿式制程来对触控面板的玻璃基板进行加工，湿式制程例如为将玻璃基板经过蚀刻制程进行图案化的蚀刻或是经过清先制程进行表面清洗等。当玻璃基板在进行上述的湿式制程时，多利用滚轮进行固定与输送。因此，在玻璃基板与滚轮接触的一面，滚轮容易对玻璃基板磨耗，另外玻璃基板与滚轮接触的一面也因滚轮的设置而无法有效进行湿式制程，即公知利用滚轮对玻璃基板进行固定与输送的作法，仅可对玻璃基板进行单面制程。

发明内容

因此，本发明提供一种可在制程中减少对基板的磨耗及可对基板进行双面制程的湿式制程设备，以解决上述问题。

为了达成上述目的，本发明公开一种湿式制程设备，用以支撑一基板，所述基板具有一板体部及一侧边部，所述侧边部延伸于所述板体部，所述板体部具有一上表面及一下表面，所述下表面相反于所述上表面，所述湿式制程设备包含一槽体、多个液浮载板以及多个导轮，所述槽体内形成有一槽室，所述槽室用以容置所述基板，所述多个液浮载板设置在所述下表面下方，所述多个液浮载板用以对所述下表面喷射一处理液，以对所述下表面进行表面处理并支撑所述板体部，所述多个导轮对应于所述侧边部并用以输送所述基板，各导轮包含一轮轴部以及一轮体部，所述轮轴部具有一径向及一轴向，所述径向垂直于所述轴向，所述导轮绕所述轴向旋转，所述轮体部沿所述径向延伸于所述轮轴部，所述轮体部具有一胎面，所述胎面上形成有多个导轮出水孔，所述多个导轮出水孔用以对所述侧边部喷射所述处理液，以对所述侧边部进行表面处理并支撑所述侧边部。

根据本发明其中之一实施方式，所述轮轴部内形成有一供液腔室，用以供应所述处理液，所述轮体部内形成有多个供液信道，各供液信道连通于所述供液腔室与所述多个导轮出水孔的其中之一。

根据本发明其中之一实施方式，各供液信道为一直线型信道。

根据本发明其中之一实施方式，各供液信道的走向通过所述轮轴部的轴心，且各导轮出水孔的法线垂直于所述胎面。

根据本发明其中之一实施方式，各供液信道的走向相切于所述轮轴部的外周围，且各导轮出水孔的法线垂直于所述胎面。

根据本发明其中之一实施方式，各供液信道为一曲线型信道，且各导轮出水孔的法线不垂直于所述胎面。

根据本发明其中之一实施方式，所述轮体部内形成有一储液腔室，用以储存并供应所述处理液，所述轮体部内还形成有多个供液信道，各供液信道连通于所述储液腔室与所述多个导轮出水孔的其中之一。

根据本发明其中之一实施方式，所述槽体形成有连通于所述槽室的一入口，所述多个导轮用以将所述基板沿一输送方向通过所述入口送入所述槽室内。

根据本发明其中之一实施方式，所述槽体还形成有相对于所述入口的一出口，所述多个导轮还用以将所述基板沿所述输送方向通过所述出口送出所述槽室外。

根据本发明其中之一实施方式，所述湿式制程设备还包含一入口闸门以及一出口闸门，所述入口闸门枢接于所述槽体邻近所述入口处，所述入口闸门用以选择性地关盖所述入口，所述出口闸门枢接于所述槽体邻近所述出口处，所述出口闸门用以选择性地关盖所述出口。

综上所述，本发明湿式制程设备的导轮是对应于基板的侧边部，且导轮的胎面上设置有多个导轮出水孔，用以喷射所述处理液，使基板的侧边部与导轮的胎面间形成有薄膜层流，以减少导轮的胎面对基板的侧边部的磨耗。此外，本发明湿式制程设备的所使用的处理液可为一蚀刻液或一清洗液，且本发明湿式制程设备可利用一喷洒模块对基板的板体部的上表面进行蚀刻或清洗等的湿式制程外，本发明湿式制程设备也可利用液浮载板对基板的板体部的下表面喷射处理液，以对板体部的下表面也进行蚀刻或清洗等的湿式制程，从而使本发明湿式制程设备达到对基板进行双面湿式制程的目的。有关本发明前述及其他技术内容、特点与功效，在以下配合参考附图实施例的详细说明中，将可清楚的呈现。

附图说明

图1为本发明第一实施例湿式制程设备的示意图。

图2为图1所示湿式制程设备沿剖面线X-X的剖面示意图。

图3为图1所示导轮放大示意图。

图4为图3所示导轮沿剖面线Y-Y的剖面示意图。

图5为本发明第二实施例导轮的示意图。

图6为本发明第三实施例导轮的示意图。

图7为本发明第四实施例导轮的示意图。