[发明专利]成膜装置

权利要求书

1.一种成膜装置，在真空容器内使旋转台旋转，而使旋转台上的多个基板依次通过处理气体的供给区域，由此在基板上成膜，其中，

该成膜装置包括：

凹部，其在所述旋转台的一面侧沿着周向设有多个，形成为分别收纳所述基板；

载置部，其用于在所述凹部内支承基板的比周缘部靠中央的部位；

槽部，其为环状，形成为在所述凹部内包围所述载置部；

连通路，其由连通槽或连通孔形成，该连通槽或连通孔形成为在从所述载置部的中心进行观察时从所述槽部的靠所述旋转台的旋转中心侧的区域连通到该凹部的外部的区域；以及

排气口，其用于对所述真空容器内进行真空排气，

所述外部的区域是与所述凹部相邻的其他凹部内的载置部的周围的环状的槽部或者所述旋转台的外周缘的外侧。

2.根据权利要求1所述的成膜装置，其特征在于，

所述外部的区域是与所述凹部相邻的其他凹部内的载置部的周围的环状的槽部的从该其他凹部的载置部的中心进行观察时与所述旋转台的旋转中心相反的一侧的区域。

3.根据权利要求1所述的成膜装置，其特征在于，

与所述凹部相邻的其他凹部是在从所述凹部进行观察时位于成膜时旋转台的旋转方向的上游侧的相邻的其他凹部。

4.根据权利要求1所述的成膜装置，其特征在于，

所述处理气体的供给区域是沿着旋转台的旋转方向彼此分开的原料气体的供给区域以及与原料发生反应的反应气体的供给区域，

为了防止在所述原料气体的供给区域与反应气体的供给区域之间原料气体与反应气体混合，而在所述原料气体的供给区域与反应气体的供给区域之间设有朝向上游侧和下游侧喷出分离气体的分离区域。

5.根据权利要求1所述的成膜装置，其特征在于，

所述连通路在从所述凹部的中央进行观察时与所述旋转台的中心相反的一侧的、凹部的端部区域以使所述凹部内的载置部的周围的空间与所述旋转台的外侧的空间连通的方式形成于该凹部的壁部。

6.根据权利要求5所述的成膜装置，其特征在于，

所述凹部的端部区域是在将连结凹部的中心与旋转台的旋转中心的直线同旋转台的外周相交的点记作P时，从凹部的中心相对于点P分别向左右形成30度的张角的直线之间的区域。