[发明专利]一种柔性材料的双面曝光方法及装置在审
| 申请号： | 201610973545.X | 申请日： | 2016-11-07 |
| 公开（公告）号： | CN108073044A | 公开（公告）日： | 2018-05-25 |
| 发明（设计）人： | 俞庆平 | 申请（专利权）人： | 俞庆平 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 安徽省合肥市蜀山区*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 柔性材料 双面曝光 卷辊 曝光平面 曝光设备 绷紧 曝光 前行 辅助措施 光学系统 激光曝光 聚焦模块 连续不断 连续曝光 曝光操作 曝光效率 曝光装置 上下表面 曝光头 等距 卷取 转动 两边 安置 保证 | ||
1.一种柔性材料的双面曝光方法，其特征在于包含以下步骤：
（1）带状柔性材料绷紧在多个卷辊之间；
（2）在卷辊之间紧绷的带状柔性材料，其两侧面的上方均设置有曝光装置；
（3）卷辊转动带动带状柔性材料运动，运动过程中，步骤（2）中所述的曝光装置对带状柔性材料进行曝光。
2.根据权利要求1所述的一种柔性材料的双面曝光方法，其特征在于：所述的步骤（2）中的曝光装置采用多个曝光点相连的方式来完全覆盖带状柔性材料的宽度方向。
3.根据权利要求1所述的一种柔性材料的双面曝光方法，其特征在于：所述的步骤（2）中的曝光装置采用单个曝光点沿着带状柔性材料的宽度方向扫描覆盖的方式。
4.根据权利要求1所述的一种柔性材料的双面曝光方法，其特征在于：所述的步骤（2）中的曝光装置始终与带状柔性材料的表面保持固定距离。
5.根据权利要求2所述的一种柔性材料的双面曝光方法，其特征在于：所述的步骤（3）中带状柔性材料的运动方式为匀速运动。
6.根据权利要求3所述的一种柔性材料的双面曝光方法，其特征在于：所述的步骤（3）中带状柔性材料的运动采取步进运动的方式。
7.一种柔性材料双面曝光装置，包括曝光装置（300），所述的曝光装置（300）由光学系统（310）、扫描平台（320）、光源系统（330）、通讯模块（340）、计算机（350）、数据处理模块（360）组成，光学系统（310）和光源系统（330）安装在扫描平台（320）上，计算机（350）与通讯模块（340）、扫描平台（320）、数据处理模块（360）分别相连接；所述的光源系统（330）与通讯模块（340）相连接；所述的光学系统（310）与通讯模块（340）相连接；所述的光学系统（310）由数字微镜装置（311）、成像系统（312）组成；其特征在于：还包括卷辊（100）、驱动电机（200），驱动电机（200）安装在卷辊（100）上，两个卷辊（100）之间绷紧的带状柔性材料两侧面上方分别安装一个曝光装置（300）；所述的成像系统（312）上还安装有一个主动聚焦模块（313）。
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