[发明专利]一种柔性材料的双面曝光方法及装置

说明书

本发明涉及激光曝光技术，具体涉及一种柔性材料的双面曝光方法及装置。目前对柔性材料的曝光需要较多的辅助措施，同时无法做到连续曝光和双面同时曝光。本发明提供一种柔性材料的双面曝光方法及装置，本发明采用多对卷辊将柔性卷取后绷紧，两个卷辊之间绷紧的柔性材料可以提供一个稳定的曝光平面，在这个稳定的曝光平面的两边分别安置一个曝光装置，卷辊转动带动柔性材料前行，柔性材料的前行过程中，曝光设备工作，可以连续不断地对柔性材料的上下表面进行曝光操作。曝光设备的光学系统上安装有一个主动聚焦模块，可以保证曝光头和柔性材料的表面等距，确保曝光质量。本发明相对于现有技术，能够大幅提高柔性材料的曝光效率。

技术领域

本发明涉及激光曝光技术，具体涉及一种柔性材料的双面曝光方法及装置。

背景技术

目前，在激光曝光技术领域，需要进行曝光的柔性材料包括柔性玻璃，铜板等；这些柔性材料由于不具备刚性材料的结构刚性，无法按照刚性材料的曝光方式进行曝光。因此针对此类材料，现有技术中一般采用以下方法进行曝光处理：

（1）使用刚性边框，将柔性材料绷紧在刚性边框内部，然后再进行曝光处理；

（2）强柔性材料紧贴在一块刚性的底板上进行曝光。

上述的曝光方式能够辅助柔性材料克服容易变形或翘曲等缺陷，使之适合在现有的技术条件下实施曝光操作。但是仍然存在以下缺点：

（1）曝光前需要对柔性材料进行衬底或绷框，过程比较麻烦；

（2）无法对较长的柔性材料进行连续的曝光；

（3）对于要求双面曝光的柔性材料，实施曝光的难度更大。

发明内容

本发明的目的在于提供一种柔性材料的双面曝光方法及装置，相对于现有技术，使用该方法能够对柔性材料的双面进行连续曝光，提高曝光效率。

为了达到上述技术目的，本发明提供一种柔性材料的双面曝光方法，包含以下步骤：

（1）带状柔性材料绷紧在多个卷辊之间；

（2）在卷辊之间紧绷的带状柔性材料，其两侧面的上方均设置有曝光装置；

（3）卷辊转动带动带状柔性材料运动，运动过程中，步骤（2）中所述的曝光装置对带状柔性材料进行曝光。

优选的，步骤（2）中的曝光装置采用多个曝光点相连方式来完全覆盖带状柔性材料的宽度方向。

优选的，步骤（2）中的曝光装置采用单个曝光点沿着带状柔性材料的宽度方向扫描覆盖的方式。

优选的，步骤（2）中的曝光装置始终与带状柔性材料的表面保持固定距离。

优选的，步骤（3）中带状柔性材料的运动方式为匀速运动；

优选的，步骤（3）中带状柔性材料的运动采取步进运动的方式。

本发明还提供了一种柔性材料双面曝光装置，其技术方案如下：一种柔性材料双面曝光装置，包括曝光装置，所述的曝光装置由光学系统、扫描平台、光源系统、通讯模块、计算机、数据处理模块组成，光学系统和光源系统安装在扫描平台上，计算机与通讯模块、扫描平台、数据处理模块分别相连接；光源系统与通讯模块相连接；光学系统与通讯模块相连接；光学系统由数字微镜装置、成像系统组成；还包括卷辊、卷辊驱动电机，驱动电机安装在卷辊上；两个卷辊之间绷紧的带状柔性材料上下表面的上方分别安装一个曝光装置；所述的成像系统上还安装有一个主动聚焦模块。