[发明专利]一种光刻胶保湿系统及其保湿方法

权利要求书

1.一种光刻胶保湿系统，其特征在于：包括光刻胶罐（1）、供胶部（2）、通断回吸阀（3）、控制部（4）、回吸阀（5）、升降部（6）、胶臂（7）、胶管（8）、胶嘴（9）及溶剂盒（10），其中胶臂（7）的一端与升降部（6）的输出端连接，另一端安装有胶嘴（9），所述胶臂（7）上设有多根胶管（8）；所述供胶部（2）的进口通过管路与光刻胶罐（1）相连通，出口通过管路分别与每根所述胶管（8）的进口端相连通，并在供胶部（2）出口与胶管（8）进口端之间的管路上设有分别与控制部（4）相连的通断回吸阀（3）和回吸阀（5）；所述胶臂（7）的另一端安装有与胶管（8）数量相同的胶嘴（9），每个所述胶管（8）的出口端均安装在一个胶嘴（9）上，并由该胶嘴（9）向下伸出；或者，所述胶臂（7）的另一端安装有一个胶嘴（9），每个所述胶管（8）的出口端安装在同一个胶嘴（9）上，并由这一个胶嘴（9）向下伸出；所述胶管（8）出口端的下方设有溶剂盒（10）；所述升降部（6）驱动胶臂（7）、胶嘴（9）及胶管（8）升降，通过所述控制部（4）控制通断回吸阀（3）与回吸阀（5）先后动作，完成两次回吸，所述胶管（8）内通过两次回吸在吸入的溶剂与光刻胶之间有溶剂蒸汽，实现对光刻胶的保湿；

所述溶剂盒（10）的外表面上下安装有高位传感器（11）及低位传感器（12），该低位传感器（12）的安装检测位置高于胶管（8）出口端随胶嘴（9）由所述升降部（6）驱动下降插入溶剂盒（10）内最低点的位置；

所述升降部（6）上上下安装有上位传感器（15）及下位传感器（16），所述上位传感器（15）及下位传感器（16）分别与控制部（4）电连接，所述回吸阀（5）在该下位传感器（16）检测到信号时动作，所述通断回吸阀（3）在该上位传感器（15）检测到信号时动作。

2.按权利要求1所述的光刻胶保湿系统，其特征在于：所述通断回吸阀（3）靠近供胶部（2）设置，所述回吸阀（5）靠近胶管（8）出口端设置，该通断回吸阀（3）及回吸阀（5）的动作顺序通过所述控制部（4）控制。

3.按权利要求1所述的光刻胶保湿系统，其特征在于：所述溶剂盒（10）通过管路连通有溶剂供应部（13），并在该管路上安装有控制所述溶剂盒（10）溶剂供给的通断阀（14）。

4.按权利要求3所述的光刻胶保湿系统，其特征在于：所述通断阀（14）为常闭阀门，即该通断阀（14）在不工作的状态是关闭的；所述高位传感器（11）、低位传感器（12）及通断阀（14）分别与控制部（4）电连接，所述低位传感器（12）给出信号后，该通断阀（14）打开，所述溶剂供应部（13）向溶剂盒（10）内供液，所述高位传感器（11）检测到液位给出信号后，该通断阀（14）关闭。

5.一种权利要求1至4任一权利要求所述光刻胶保湿系统的保湿方法，其特征在于：所述供胶部（2）向胶管（8）供给光刻胶，当该供胶部（2）停止供胶后，所述升降部（6）驱动胶臂（7）带动胶嘴（9）及胶管（8）升起，当所述升降部（6）上的上位传感器（15）给出信号后，所述控制部（4）控制通断回吸阀（3）动作，进行第一次回吸；完成第一次回吸后，所述升降部（6）驱动胶臂（7）带动胶嘴（9）及胶管（8）下降，当所述升降部（6）上的下位传感器（16）给出信号后，所述控制部（4）控制回吸阀（5）动作，进行第二次回吸。

6.按权利要求5所述光刻胶保湿系统的保湿方法，其特征在于：进行第一次回吸后，所述胶管（8）内吸入一段光刻胶（A），所述升降部（6）驱动胶臂（7）带动胶嘴（9）及胶管（8）下降后，该胶管（8）的出口端浸入所述溶剂盒（10）的溶剂内，所述回吸阀（5）动作进行第二次回吸后，所述胶管（8）内吸入一段溶剂（C），在所述光刻胶（A）与溶剂（C）之间留有空间，此空间内有溶剂蒸汽，达到保湿的效果。

7.按权利要求5所述光刻胶保湿系统的保湿方法，其特征在于：所述胶臂（7）上布置有多个胶管（8）时，每个胶管（8）的进口端分别通过管路与供胶部（2）相连通，胶臂（7）的另一端安装有与胶管（8）数量相同的胶嘴（9），每个所述胶管（8）的出口端由一个胶嘴（9）伸出，并分别控制伸出的长度；或每个所述胶管（8）的出口端安装在一个胶嘴（9）上，分别控制伸出的长度。