[发明专利]高密度钼管靶材的成型和制作工艺

权利要求书

1.高密度钼管靶材的成型和制作工艺，其特征在于，包括以下工艺步骤：

（1）、选取纯度＞99.96%的钼料，超声波清洗2~5h后，将其置于氩气气氛的真空室中进行烘干，将钼料置于真空度为0.001Pa、温度为2160~2250℃的转底炉的坩埚内熔炼至全部熔融后，加入重量为钼料重量0.3~0.6%的镧，再在该温度下熔炼15~25min后，随炉冷却至室温，制得坯带，备用；

（2）、将坯带置于炉体中进行烧结后，在1400℃下沿坯带的长度方向进行轧制，当坯带的一次变形量为20~60%时，采用碳钢包覆在坯带外面，在1200℃下进行轧制，当坯带的二次变形量为70%时，将坯带在1250℃下保温2h，备用；其中，烧结温度为1950~2000℃，保温8~10h；

（3）、将坯带破碎后进行一次球磨16h以上，制成粉料，将该粉料和水按照1：0.8~1的重量比混合进行二次球磨，并形成浆料，浆料中的粉料研磨至费氏粒度为2.0~3.0微米，备用；

（4）、按照粉料：分散剂：去离子水=100：1~3：200的重量比称取粉料、分散剂和去离子水，混合后超声波处理20~30min，形成浆体，在其中加入氨水和冰醋酸，使其pH值达到7.4，将浆体置于真空室中进行消泡处理后，注入钼管模具中压力成型，硬化后静置24h以上，形成一序坯体，备用；

（5）、将一序坯体置于炉体中，在400~600℃下保温1~2h，碱洗后将其送入压力为180~200MPa的冷等静压室中处理5~10min，形成二序坯体，备用；

（6）、将二序坯体置于氢气气氛的中频炉中进行烧结，烧结温度为1950~2000℃，保温8~10h，随炉冷却至室温，形成三序坯体，备用；

（7）、将三序坯体经空气锤锻平直后，进行精细加工，制得钼管靶材。

2.根据权利要求1所述的高密度钼管靶材的成型和制作工艺，其特征在于：步骤（3）中，二次球磨后粉料中的钼粉的松装密度＞1.10g/cm3，流动性为40~50g/s，钼粉粒度为单峰、正态分布，d(0,1)=6~6.5微米，d(0,5)=14~15微米，d(0,9)=40~45微米。

3.根据权利要求1所述的高密度钼管靶材的成型和制作工艺，其特征在于：步骤（5）中，所述碱洗采用质量浓度为8~9.5％的氢氧化钾溶液，碱洗的温度为80~100℃，碱洗的时间为55~60s。