[发明专利]无氧铜表面的处理方法在审
| 申请号： | 201611007443.9 | 申请日： | 2016-11-16 |
| 公开（公告）号： | CN108070821A | 公开（公告）日： | 2018-05-25 |
| 发明（设计）人： | 于全耀;王永元;李柏霖 | 申请（专利权）人： | 中达电子零组件(吴江)有限公司 |
| 主分类号： | C23C8/42 | 分类号： | C23C8/42;C23F1/18 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 王玉双;高龙鑫 |
| 地址： | 215200 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 无氧铜 去离子水 预处理 氧化剂 氧化物层 超亲水 配制 清洗 表面活性剂 碱性化合物 重量百分比 处理液中 混合溶液 强氧化剂 清洗工艺 烧结过程 无氧铜管 浸入 处理液 传统的 结合力 散热 铬酸 可控 可用 铜管 溶解 | ||
1.一种无氧铜表面的处理方法，包括下列步骤：
(1)处理液的配制
用去离子水将酸和氧化剂按照如下重量百分比配制处理液：
酸：0.1-15wt％、
氧化剂：0.1-20wt％；
(2)无氧铜表面预处理
采用表面活性剂和碱性化合物的混合溶液对无氧铜表面进行预处理，再用去离子水清洗干净；
(3)无氧铜表面氧化-溶解处理
将步骤(2)预处理后的无氧铜浸入步骤(1)配制的处理液中对无氧铜表面进行氧化-溶解处理，再用去离子水清洗干净，然后干燥。
2.根据权利要求1所述的无氧铜表面的处理方法，其特征在于：所述酸为盐酸和/或浓硫酸；所述氧化剂为双氧水、臭氧和次氯酸中的至少一种。
3.根据权利要求1所述的无氧铜表面的处理方法，其特征在于：所述酸为甲酸、乙酸、柠檬酸、草酸和乳酸中的至少一种；所述氧化剂为双氧水、臭氧和次氯酸中的至少一种。
4.根据权利要求1所述的无氧铜表面的处理方法，其特征在于：所述处理液中，
酸的含量为0.1-4.5wt％、
氧化剂的含量为0.1-10wt％。
5.根据权利要求1-4任一项所述的无氧铜表面的处理方法，其特征在于：所述氧化剂的浓度大于等于所述酸的浓度。
6.根据权利要求1-4任一项所述的无氧铜表面的处理方法，其特征在于：所述表面活性剂为十二烷基硫酸钠、十二烷基磺酸钠、聚乙烯醇和C9-11链烷醇聚醚中的一种或几种；所述碱性化合物为氢氧化钠、氢氧化钾、氨水、三苯基磷、三乙胺和三乙醇胺中的一种或几种。
7.根据权利要求1所述的无氧铜表面的处理方法，其特征在于：步骤(2)中所述预处理和步骤(3)中所述氧化-溶解处理分别采用超声波、震荡或者漂洗的方式。
8.根据权利要求1所述的无氧铜表面的处理方法，其特征在于：步骤(3)中所述氧化-溶解处理采用的条件：温度为10-60℃，时间为0.1min-30min。
9.根据权利要求8所述的无氧铜表面的处理方法，其特征在于：步骤(3)中所述氧化-溶解处理采用的条件：温度为20-40℃，时间为0.5min-10min。
10.根据权利要求3所述的无氧铜表面的处理方法，其特征在于：步骤(3)中所述氧化-溶解处理采用的条件：温度为10-40℃，时间为0.5min-20min。
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