[发明专利]一种硅切片防粘片方法有效
申请号: | 201611021094.6 | 申请日: | 2016-11-21 |
公开(公告)号: | CN107053503B | 公开(公告)日: | 2019-03-15 |
发明(设计)人: | 郭东兴;张勇;闫红超;颜玉峰;王辉;赵飞 | 申请(专利权)人: | 宁晋松宫电子材料有限公司 |
主分类号: | B28D5/04 | 分类号: | B28D5/04;B28D7/00;C10M169/04;C10N30/04 |
代理公司: | 河北东尚律师事务所 13124 | 代理人: | 王文庆 |
地址: | 055550 河北*** | 国省代码: | 河北;13 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 硅片 配置 防粘片 分散剂 切片 切割 切割晶片 制作工艺 电荷 砂浆 切削液 切削 硅棒 硅粉 厚片 滑移 配胶 配重 粘棒 粘片 黏砂 生产工艺 剔除 预留 保证 | ||
1.一种硅切片防粘片方法,其特征在于:包括以下步骤:
①配胶,将白蓝胶体按照1:0.75的比例进行融合,融合后进行放热,放热时长为20min,并等待胶体凝固后,将胶体置入烤箱中预设温度为80度烘烤1h;
②粘棒,分别使用清水和丙酮对硅棒表面进行擦拭,使用步骤①中的胶体将棒料粘结在已经清洗完毕的玻璃片上,并将玻璃片固定在切割机的晶托上;
③配置砂浆分散剂,按照重量将1%润湿渗透剂、20%~30%分散剂、0.5%触变剂、余量为溶剂,配比砂浆分散剂;
④配置砂浆,快速将微粉放置入80—90度烘箱里,烘烤8小时以上,烘烤完成后,快速将微粉取出并快速配置砂浆液,配置完成后进行搅拌,砂浆液搅拌时长不低于8h;
⑤配置防黏砂浆液,将砂浆分散剂与砂浆液按照1:100的比例进行搅拌配置,将配置完毕的防黏砂浆液加入切割机的砂浆缸中;
⑥切割晶片,操作切割机将晶棒自动切割成硅晶片;
⑦去除胶体,将步骤⑥切割完毕的硅晶片置入脱胶液中进行脱胶,脱胶完毕后将所有胶体去除,去除完毕后一边排放脱胶液一边置入清水,保证液面于硅片上表面;
⑧清洗硅片,将硅片置入清洗机中进行清洗,清洗完毕后烘干取出。
2.根据权利要求1所述的一种硅切片防粘片方法,其特征在于:在步骤⑥过程中,启动切割机之前需要按照预设值调整排线总宽度,硅棒长度大于排线总宽度,切割完毕后在硅棒的两端各预留有一个厚度为3mm的厚片。
3.根据权利要求1所述的一种硅切片防粘片方法,其特征于:启动切割机的空调温度预设温度为10度-13度。
4.根据权利要求1所述的一种硅切片防粘片方法,其特征于:所述的润湿渗透剂为有机硅改性聚氧乙烯醚/氟碳类表面活性剂或者所述的润湿渗透剂为由按重量1:1进行配比的有机硅改性聚氧乙烯醚和氟碳类表面活性剂组成。
5.根据权利要求1所述的一种硅切片防粘片方法,其特征于:所述的分散剂由任意比的聚乙二醇、丙二醇嵌段聚醚和脂肪醇聚氧乙烯醚组成。
6.根据权利要求1所述的一种硅切片防粘片方法,其特征于:所述的触变剂由任意比的羧甲基纤维素和聚乙烯醇组成。
7.根据权利要求1所述的一种硅切片防粘片方法,其特征于:所述的溶剂为聚乙二醇。
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