[发明专利]工件表面检测方法及应用其工件表面检测方法的系统

说明书

本发明公开一种工件表面检测方法及应用其工件表面检测方法的系统。工件表面检测方法包括以下步骤。首先，提供待测物第一环境，第一环境的第一环境温度高于第一环境的第一环境相对湿度所对应的第一饱和温度。然后，提供待测物第二环境，第二环境的第二环境温度低于第一环境温度，以使待测物的本身温度降低至可雾化温度。然后，提供待测物雾化环境，雾化环境的雾化环境相对湿度所对应的雾化饱和温度等于或高于可雾化温度，以雾化待测物的表面。然后，检测待测物雾化后的表面。

技术领域

本发明涉及一种工件表面检测方法及应用其工件表面检测方法的系统，且特别是涉及一种可检测雾化表面的工件表面检测方法及应用其工件表面检测方法的系统。

背景技术

为了侦测高反光度待测物表面的缺陷或进行尺寸等量测，常见方式是以消光粉等喷洒在待测物表面，以降低反光，凸显表面缺陷与显出尺寸后，以例如非接触式取像检测方式等，进行待测物表面的检测或量测。然而，此方式必须在检测后将待测物表面上的消光粉完全去除，不仅耗时、困难并且容易导致生产线的污染，故难以广泛应用。

发明内容

因此，本发明的目的在于提出一种工件表面检测方法及应用其的系统，可提升量测准确度。

为达上述目的，根据本发明的一实施例，提出一种工件表面检测方法。工件表面检测方法包括以下步骤。提供一待测物一第一环境，第一环境的一第一环境温度高于第一环境的一第一环境相对湿度所对应的一第一饱和温度；提供待测物一第二环境，第二环境的一第二环境温度低于第一环境温度，以使待测物的一本身温度降低至一可雾化温度，其中可雾化温度实质上等于或高于第二环境温度；提供待测物一雾化环境，雾化环境的一雾化环境相对湿度所对应的一雾化饱和温度等于或高于可雾化温度，以雾化待测物的一表面；以及，检测待测物雾化后的表面。

根据本发明的另一实施例，提出一种工件表面检测系统。工件表面检测系统包括一第一空调模块、一第二空调模块、一雾化空调模块及一检测模块。第一空调模块用以提供一待测物一第一环境，第一环境的一第一环境温度高于第一环境的第一环境相对湿度所对应的一第一饱和温度。第二空调模块用以提供待测物一第二环境，第二环境的一第二环境温度低于第一环境温度，以使待测物的一本身温度降低至一可雾化温度，其中可雾化温度实质上等于或高于第二环境温度。雾化空调模块用以提供待测物一雾化环境，雾化环境的一第二相对湿度所对应的一雾化饱和温度等于或高于可雾化温度，以使待测物的一表面雾化。检测模块，用以检测待测物雾化后的表面。

根据本发明的另一实施例，提出一种工件表面检测方法。工件表面检测方法包括以下步骤。提供一待测物一第一环境，第一环境的一第一环境温度高于第一环境的一第一环境相对湿度所对应的一第一饱和温度；提供待测物一气体，气体的一气体饱和温度高于待测物的本身温度，以雾化待测物的一表面；以及，检测待测物雾化后的表面。

根据本发明的另一实施例，提出一种工件表面检测系统。工件表面检测系统包括一第一空调模块、一气体提供器及一检测模块。第一空调模块用以提供一待测物一第一环境，第一环境的一第一环境温度低于第一环境的一第一环境相对湿度所对应的一第一饱和温度。气体提供器用以提供待测物一气体，气体的一气体饱和温度高于待测物的本身温度，以雾化待测物的一表面。检测模块用以检测待测物雾化后的表面。

为了对本发明的上述及其他方面有更清楚的了解，下文特举诸项实施例，并配合所附附图，作详细说明如下：

附图说明

图1为本发明一实施例的工件表面检测系统的示意图；

图2为本发明一实施例的工件表面检测方法的流程图；

图3为本发明一实施例的温湿度曲线图；

图4为待测物雾化后的表面的实测反射率曲线图；

图5为本发明另一实施例的工件表面检测系统的示意图；