[发明专利]一种废液收集杯的排风切换装置及其方法在审
| 申请号： | 201611042315.8 | 申请日： | 2016-11-23 |
| 公开（公告）号： | CN108080222A | 公开（公告）日： | 2018-05-29 |
| 发明（设计）人： | 尹宁;谷德君 | 申请（专利权）人： | 沈阳芯源微电子设备有限公司 |
| 主分类号： | B05C11/10 | 分类号： | B05C11/10 |
| 代理公司： | 沈阳科苑专利商标代理有限公司 21002 | 代理人： | 何丽英 |
| 地址： | 110168 辽*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 分风盒 排风 废液收集杯 进风口 出风口 主风道 切换装置 旋转涂覆 配风口 工艺技术领域 废料收集 工艺单元 机构安装 排风风量 排风口 排风量 侧壁 晶圆 主风 连通 | ||
1.一种废液收集杯的排风切换装置，其特征在于，包括分风盒(1)、主风道(2)、接口(3)及排风切换机构，其中分风盒(1)上设有分风盒进风口和分风盒出风口(9)，所述分风盒进风口与废液收集杯的排风口连接，所述主风道(2)上设有主风道进风口(10)，所述接口(3)的两端分别与所述分风盒出风口(9)和所述主风道进风口(10)连通，所述接口(3)的侧壁上设有配风口(4)，所述排风切换机构安装在接口(3)上，用于所述分风盒出风口(9)和配风口(4)之间的排风切换。
2.根据权利要求1所述的废液收集杯的排风切换装置，其特征在于，所述主风道进风口(10)处设有风口调节板(6)，通过风口调节板(6)调节主风道进风口(10)的大小，从而调节废液收集杯的排风量大小。
3.根据权利要求1所述的废液收集杯的排风切换装置，其特征在于，所述排风切换机构包括风门调节机构(5)和风门(7)，所述风门(7)可转动地安装在所述分风盒出风口(9)和配风口(4)之间、且与风门调节机构(5)连接，所述风门(7)通过风门调节机构(5)的驱动，关闭所述分风盒出风口(9)或关闭所述配风口(4)。
4.根据权利要求3所述的废液收集杯的排风切换装置，其特征在于，所述风门调节机构(5)为驱动气缸。
5.根据权利要求1所述的废液收集杯的排风切换装置，其特征在于，所述接口(3)与分风盒(1)或主风道(2)为一体式结构。
6.一种废液收集杯的排风切换方法，其特征在于，在工艺腔内配置多个旋涂单元时，每个旋涂单元的废液收集杯排风口与主风道(2)连通的接口(3)上设置配风口(4)，在废液收集杯的排风口关闭或打开时，所述配风口(4)打开或关闭，通过配风口(4)保证废液收集杯排风口的关闭不影响其它废液收集杯。
7.根据权利要求6所述的方法，其特征在于，各废液收集杯排风口与接口(3)之间连接分风盒(1)。
8.根据权利要求7所述的方法，其特征在于，所述分风盒(1)与接口(3)之间设置排风切换机构，通过所述排风切换机构进行配风口(4)排风和废液收集杯排风口排风的切换。
9.根据权利要求8所述的方法，其特征在于，所述排风切换机构包括风门调节机构(5)和风门(7)，所述风门(7)可转动地安装在分风盒出风口(9)和配风口(4)之间、且与风门调节机构(5)连接，所述风门(7)通过风门调节机构(5)的驱动，关闭所述分风盒出风口(9)或关闭所述配风口(4)。
10.根据权利要求6所述的方法，其特征在于，所述主风道(2)与接口(3)之间设有风口调节板(6)，通过风口调节板(6)调节主风道进风口(10)的大小，从而调节废液收集杯的排风量大小。
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