[发明专利]一种废液收集杯的排风切换装置及其方法

说明书

本发明属于晶圆旋转涂覆的工艺技术领域，具体地说是一种废液收集杯的排风切换装置及其方法。所述装置包括分风盒、主风道、接口及排风切换机构，其中分风盒上设有分风盒进风口和分风盒出风口，所述分风盒进风口与废液收集杯的排风口连接，所述主风道上设有主风道进风口，所述接口的两端分别与所述分风盒出风口和所述主风道进风口连通，所述接口的侧壁上设有配风口，所述排风切换机构安装在接口上，用于所述分风盒出风口和配风口之间的排风切换。本发明主要用于旋转涂覆的工艺单元内各个废液收集杯的排风风量切换，可以切换各个废料收集杯内部不同排风量、且相互之间没有干扰。

技术领域

本发明属于晶圆旋转涂覆的工艺技术领域，具体地说是一种废液收集杯的排风切换装置及其方法。

背景技术

新的技术和市场对设备的产能要求不断提高，在同样占地面积下，要实现更多的产能就要配置更多的工艺模块，工艺模块的集成度不断提高，出现一个工艺腔内配置多个旋涂单元的新型旋转涂覆模块。由于空间有限，多个旋涂单元的排风串联在一起。对晶圆进行工艺处理时，旋涂单元的废液收集杯需要切换不同的排风压力，由于多个废液收集杯串联，如果不做处理，各个废液收集杯的排风会相互影响，进而影响各个旋涂单元的工艺效果。本发明的排风切换方法可以有效地防止废液收集杯之间的相互干扰，从而保证工艺效果

发明内容

针对上述问题，本发明的目的在于提供一种废液收集杯的排风切换装置及其方法，以解决多个废液收集杯的排风会相互影响，进而影响各个旋涂单元的工艺效果的问题。

为了实现上述目的，本发明采用以下技术方案：

一种废液收集杯的排风切换装置，包括分风盒、主风道、接口及排风切换机构，其中分风盒上设有分风盒进风口和分风盒出风口，所述分风盒进风口与废液收集杯的排风口连接，所述主风道上设有主风道进风口，所述接口的两端分别与所述分风盒出风口和所述主风道进风口连通，所述接口的侧壁上设有配风口，所述排风切换机构安装在接口上，用于所述分风盒出风口和配风口之间的排风切换。

所述主风道进风口处设有风口调节板，通过风口调节板调节主风道进风口的大小，从而调节废液收集杯的排风量大小。

所述排风切换机构包括风门调节机构和风门，所述风门可转动地安装在所述分风盒出风口和配风口之间、且与风门调节机构连接，所述风门通过风门调节机构的驱动，关闭所述分风盒出风口或关闭所述配风口。

所述风门调节机构为驱动气缸。

所述接口与分风盒或主风道为一体式结构。

一种废液收集杯的排风切换方法，在工艺腔内配置多个旋涂单元时，每个旋涂单元的废液收集杯排风口与主风道连通的接口上设置配风口，在废液收集杯的排风口关闭或打开时，所述配风口打开或关闭，通过配风口保证废液收集杯排风口的关闭不影响其它废液收集杯。

各废液收集杯排风口与接口之间连接分风盒。

所述分风盒与接口之间设置排风切换机构，通过所述排风切换机构进行配风口排风和废液收集杯排风口排风的切换。

所述排风切换机构包括风门调节机构和风门，所述风门可转动地安装在分风盒出风口和配风口之间、且与风门调节机构连接，所述风门通过风门调节机构的驱动，关闭所述分风盒出风口或关闭所述配风口。

所述主风道与接口之间设有风口调节板，通过风口调节板调节主风道进风口的大小，从而调节废液收集杯的排风量大小。

本发明的优点及有益效果是：

1.本发明通过风门的调节以及接口的配风口来保证串联的各个废液收集杯排风可以达到要求，保持一致并且切换时不相互影响。

2.本发明主要用于旋转涂覆的工艺单元内各个废液收集杯的排风风量切换，可以切换各个废料收集杯内部不同排风量、且相互之间没有干扰。