[发明专利]一种有机发光二极管的蒸镀用掩膜板和蒸镀方法

权利要求书

1.一种有机发光二极管的蒸镀用掩膜板，其特征在于，所述蒸镀用掩膜板至少包括第一掩膜板和第二掩膜板，其中：

所述第一掩膜板包含第一边缘；

所述第二掩膜板包含第二边缘；

所述第一边缘和所述第二边缘配合，使得所述第一掩膜板和所述第二掩膜板之间的空隙被遮挡，所述第一边缘、所述第二边缘以及所述空隙为非蒸镀部分。

2.如权利要求1所述的蒸镀用掩膜板，其特征在于，所述第一边缘和所述第二边缘配合，包括：

所述第一掩膜板和所述第二掩膜板相邻侧的所述第一边缘的投影和所述第二边缘的投影重叠。

3.如权利要求2所述的蒸镀用掩膜板，其特征在于，所述第一边缘和所述第二边缘的叠加投影的长度为第三长度；

所述第一边缘具有第一长度，所述第一长度小于所述第三长度；

所述第二边缘具有第二长度，所述第二长度小于所述第三长度。

4.如权利要求2所述的蒸镀用掩膜板，其特征在于，所述第一掩膜板包括：第一主体；所述第二掩膜板包括：第二主体，其中：

所述第一主体具有第一厚度，所述第一边缘具有第二厚度；

所述第二主体具有第一厚度，所述第二边缘具有第三厚度；

所述第一厚度大于等于所述第二厚度与所述第三厚度之和。

5.如权利要求1所述的蒸镀用掩膜板，其特征在于，所述蒸镀用掩膜板还包括：第三掩膜板，所述第一边缘和所述第二边缘配合，包括：

所述第一掩膜板和所述第二掩膜板相邻侧的所述第一边缘和所述第二边缘形成凹槽；

所述第三掩膜板位于所述凹槽内。

6.如权利要求5所述的蒸镀用掩膜板，其特征在于，所述第三掩膜板具第四长度；

所述第一边缘和所述第二边缘之间的空隙具有第五长度；

所述第五长度大于所述第四长度。

7.如权利要求5所述的蒸镀用掩膜板，其特征在于，所述第一掩膜板包括：第三主体；所述第二掩膜板包括：第四主体，其中：

所述第三主体具有第四厚度，所述第一边缘具有第五厚度；所述第四主体具有第四厚度，所述第二边缘具有第五厚度；

所述第三掩膜板具有第六厚度；

所述第五厚度和所述第六厚度之和小于等于所述第四厚度。

8.如权利要求1所述的蒸镀用掩膜板，其特征在于，所述第一掩膜板至少包含一个所述第一边缘；所述第二掩膜板至少包含一个所述第二边缘。

9.一种有机发光二极管的蒸镀方法，其特征在于，使用如权利要求1至8任一项所述的蒸镀用掩膜板，进行有机发光二极管的蒸镀。