[发明专利]一种有机发光二极管的蒸镀用掩膜板和蒸镀方法

说明书

本发明提供了一种有机发光二极管的蒸镀用掩膜板和蒸镀方法，所述蒸镀用掩膜板至少包括第一掩膜板和第二掩膜板，其中：所述第一掩膜板包含第一边缘；所述第二掩膜板包含第二边缘；所述第一边缘和所述第二边缘配合，使得所述第一掩膜板和所述第二掩膜板之间的空隙被遮挡，所述第一边缘、所述第二边缘以及所述空隙为非蒸镀部分。通过相邻掩膜板的边缘相互配合，对相邻掩膜板之间的非蒸镀部分进行遮挡，确保掩膜板的蒸镀部分的平整度，有效提高有机发光二极管蒸镀的良品率。

技术领域

本发明涉及平板显示技术领域，尤其涉及一种有机发光二极管的蒸镀用掩膜板和蒸镀方法。

背景技术

有机发光二极管(Organic Light-Emitting Diode，OLED)不仅具有自发光特性，而且结构简单、轻薄、响应速度快、可视角度大、发光效率高以及可实现柔性显示，是一种极具发展前景的平板显示技术。

有机发光二极管中包含玻璃基板和非常薄的有机发光材料层，当有电流通过有机材料层时，有机材料层发光。有机发光材料层中包含M×N个按照矩阵结构排列的发光像素单元。

在现有技术中，通常采用掩膜板(mask)对有机发光二极管进行有机发光材料的蒸镀，蒸镀用掩膜板包含有开孔的精密掩膜板(fine mask)和无开孔的遮挡掩膜板(covermask)。精密掩膜板上开孔的位置与玻璃基板上需要进行有机发光材料蒸镀的发光像素单元的位置相对应，通过这些开孔将有机发光材料蒸镀至玻璃基板上，形成有机发光材料。无开孔的遮挡掩膜板用于将相邻的两个精密掩膜板之间无需进行有机发光材料蒸镀的非蒸镀部分遮挡。

在制备蒸镀用掩膜板时，如图1所示，首先制备最底层的无开孔的遮挡掩膜板11，在遮挡掩膜板11上依次制备有开孔的精密掩膜板12、玻璃基板13以及磁性背板14。但是，由于玻璃基板13的重力作用引发精密掩膜板12下垂，以及玻璃基板13上方的磁性背板14对精密掩膜板12和遮挡掩膜板11的吸附作用，使得精密掩膜板12与遮挡掩膜板11之间的重叠部分发生挤压，影响精密掩膜板12的平整度，使得精密掩膜板12上的开孔与发光像素单元之间出现对位不准，降低有机发光二极管蒸镀的良品率。

发明内容

有鉴于此，本发明提供了一种有机发光二极管的蒸镀用掩膜板和蒸镀方法，用于解决现有技术中有机发光二极管的蒸镀良品率较低的问题。

本发明实施例提供了一种有机发光二极管的蒸镀用掩膜板，其特征在于，所述蒸镀用掩膜板至少包括第一掩膜板和第二掩膜板，其中：

所述第一掩膜板包含第一边缘；

所述第二掩膜板包含第二边缘；

所述第一边缘和所述第二边缘配合，使得所述第一掩膜板和所述第二掩膜板之间的空隙被遮挡，所述第一边缘、所述第二边缘以及所述空隙为非蒸镀部分。

本发明实施例还提供了一种有机发光二极管的蒸镀方法，所述蒸镀方法使用以上所述蒸镀用掩膜板，进行有机发光二极管的蒸镀。

本发明有益效果如下：

本发明实施例提供了一种有机发光二极管的蒸镀用掩膜板，所述蒸镀用掩膜板至少包括第一掩膜板和第二掩膜板，其中：所述第一掩膜板包含第一边缘；所述第二掩膜板包含第二边缘；所述第一边缘和所述第二边缘配合，使得所述第一掩膜板和所述第二掩膜板之间的空隙被遮挡，所述第一边缘、所述第二边缘以及所述空隙为非蒸镀部分。通过相邻掩膜板的边缘相互配合，对相邻掩膜板之间的非蒸镀部分进行遮挡，确保掩膜板的蒸镀部分的平整度，有效提高有机发光二极管蒸镀的良品率。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简要介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域的普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。