[发明专利]用于附着玻璃与掩模的设备及方法、以及用于装载基板的系统及方法

说明书

一种基板装载系统，包括：托盘传送线，装载有基板的托盘沿所述托盘传送线传送；基板返回线，设置于所述托盘传送线的一侧，并且在所述基板被装载于所述托盘上之后，沿所述托盘传送线传送的所述托盘沿所述基板返回线返回；以及多重基板对准及装载腔室，设置于所述托盘传送线及所述基板返回线的一侧，具有多个基板装载位置，所述基板在所述基板装载位置处被对准并装载于沿所述托盘传送线传送的所述托盘上，且其中在选自所述多个基板装载位置的一个基板装载位置处，所述基板被对准并装载于所述托盘上。

本申请是申请日为2014年8月29日、申请号为“201410438438.8”的题为“用于附着玻璃与掩模的设备及方法、以及用于装载基板的系统及方法”的发明申请的分案申请。

技术领域

本发明概念涉及一种用于附着玻璃与掩模的设备及方法、以及用于装载基板的系统及方法。

背景技术

平板显示装置包括液晶显示器(liquid crystal display；LCD)、等离子体显示面板(plasma display panel；PDP)、有机发光二极管(organic light-emitting diode；OLED)等。图1例示有机发光二极管的结构。参照图1，有机发光二极管是通过在基板上依序堆叠以下各层来形成：阳极、空穴注入层(hole injection layer；HIL)、空穴传输层(holetransfer layer；HTL)、发光层(emitting layer；EL)、空穴阻挡层、电子传输层(electrontransfer layer；ETL)、电子注入层(electron transfer layer；EIL)、阴极等。

在图1所示有机发光二极管的概述中，有机发光二极管包括阳极、阴极、以及设置于所述阳极与所述阴极之间的发光层。在工作期间，空穴自阳极被注入至发光层中，且电子自阴极被注入至发光层中。所述空穴与所述电子在发光层中彼此耦合，从而产生激子(exciton)。当所述激子自激发态变至基态时，便会发光。

有机发光二极管可根据所要再现的颜色而被分类成单色(monochromatic)有机发光二极管及全色(full-color)有机发光二极管。全色有机发光二极管配备有根据作为光原色的红色(R)、绿色(G)及蓝色(B)而被图案化的发光层，进而再现全色。

在全色有机发光二极管中，可根据用于形成发光层的材料以各种方式执行发光层的图案化。

用于将发光层图案化的有机发光二极管沉积方法包括利用精细金属掩模(finemetal mask；FMM)的水平沉积方法、采用激光诱导热成像(laser induced thermalimaging；LITI)技术的方法、利用滤色器的方法、小掩模扫描(small mask scanning；SMS)沉积方法等。

金属掩模通常用于精细金属掩模水平沉积方法。为执行所述精细金属掩模水平沉积方法，可使用用于承载彼此紧密接触的掩模与基板的托盘。

在相关技术中，由于设置有掩模的位置与用于通过磁性力来吸引所述掩模的磁体板(即，磁性卡盘)之间的空隙因结构限制而非常窄，因此在所述掩模的返回操作期间(即，当所述掩模返回而不带有基板时)由金属形成的掩模与磁性卡盘很可能会由于磁性力而彼此干扰。

当掩模与磁性卡盘由于磁性力的干扰而相互接触时，可损坏掩模与磁性卡盘从而使其无法再次使用，或者可产生颗粒从而导致基板出现缺陷。因此，可降低良率，因而迫切需要对这些问题进行结构补偿。

直列式(in-line)方法是指一种利用在传送线上以某一间隔设置并用于执行清洁、沉积、蚀刻等工艺的各种设备来制造产品、同时沿所述传送线依序传送放置有多个基板的托盘的方法。

在所述直列式方法中，利用基板装载系统将基板装载于空的托盘上，以将其传送至用于执行以上工艺的设备。