[发明专利]压电器件、压电模块以及电子设备

权利要求书

1.一种压电器件，其特征在于，具备：

元件基板，具有第一面和与所述第一面相反一侧的第二面，并具有设于所述第一面的凹状开口部和包围所述凹状开口部的支撑部；

压电体，设于所述凹状开口部的所述第二面；

多个连接电极，与所述压电体连接，并从所述压电体引出至所述支撑部的所述第二面；

加强板，与所述元件基板的所述第二面一侧接合；以及

多个贯通电极，设于所述加强板的与所述支撑部相对的位置，在厚度方向上贯通所述加强板，并分别与所述多个连接电极连接，

由所述凹状开口部和所述压电体构成元件部，

在从所述第一面和所述第二面的法线方向观察的俯视观察中，所述元件部沿着第一方向和与所述第一方向交叉的第二方向配置为阵列状，

所述连接电极具备从所述压电体沿着所述第一方向引出的第一连接电极和从所述压电体沿着所述第二方向引出的第二连接电极。

2.一种压电器件，其特征在于，具备：

元件基板，具有第一面和与所述第一面相反一侧的第二面，并具有设于所述第一面的凹状开口部和包围所述凹状开口部的支撑部；

压电体，设于所述凹状开口部的所述第二面；

多个连接电极，与所述压电体连接，并从所述压电体引出至所述支撑部的所述第二面；

加强板，与所述元件基板的所述第二面一侧接合；以及

多个贯通电极，设于所述加强板的与所述支撑部相对的位置，在厚度方向上贯通所述加强板，并分别与所述多个连接电极连接，

由所述凹状开口部和所述压电体构成元件部，

在从所述第一面和所述第二面的法线方向观察的俯视观察中，所述元件部沿着第一方向和与所述第一方向交叉的第二方向配置为阵列状，

所述连接电极具备向所述压电体的所述第一方向的一端侧引出的第三连接电极和向所述压电体的所述第一方向的另一端侧引出的第四连接电极，

所述第三连接电极位于所述第二方向的一端侧，所述第四连接电极位于所述第二方向的另一端侧。

3.一种压电器件，其特征在于，具备：

元件基板，具有第一面和与所述第一面相反一侧的第二面，并具有设于所述第一面的凹状开口部和包围所述凹状开口部的支撑部；

压电体，设于所述凹状开口部的所述第二面；

多个连接电极，与所述压电体连接，并从所述压电体引出至所述支撑部的所述第二面；

加强板，与所述元件基板的所述第二面一侧接合；以及

多个贯通电极，设于所述加强板的与所述支撑部相对的位置，在厚度方向上贯通所述加强板，并分别与所述多个连接电极连接，

由所述凹状开口部和所述压电体构成元件部，

在从所述第一面和所述第二面的法线方向观察的俯视观察中，所述元件部沿着第一方向和与所述第一方向交叉的第二方向配置为阵列状，

与多个所述元件部中的第一元件部连接的所述连接电极从所述压电体沿着所述第一方向引出，

与和所述第一元件部相邻的第二元件部连接的所述连接电极从所述压电体沿着所述第二方向引出。

4.一种压电模块，其特征在于，具备：

权利要求1～3中任一项所述的压电器件和输入输出电路，

所述输入输出电路与所述贯通电极各自之间独立地进行信号的输入和输出。

5.一种电子设备，其特征在于，具备：

权利要求1～3中任一项所述的压电器件、输入输出电路和控制部，

所述输入输出电路与所述贯通电极各自之间独立地进行信号的输入和输出，

所述控制部控制所述压电体。

6.根据权利要求5所述的电子设备，其特征在于，

所述控制部执行驱动所述压电体来发送超声波的超声波发送处理和通过所述元件部接收超声波的超声波接收处理，并基于所述超声波的发送接收定时来测定被测定物。