[发明专利]光学测量装置有效
申请号: | 201611059428.9 | 申请日: | 2016-11-25 |
公开(公告)号: | CN107063127B | 公开(公告)日: | 2020-06-30 |
发明(设计)人: | 森野久康;高岛润;的场贤一;早川雅之;藤原直树;丸川真理子 | 申请(专利权)人: | 欧姆龙株式会社 |
主分类号: | G01B11/245 | 分类号: | G01B11/245;G01J3/10;G01J3/02;G01J3/28 |
代理公司: | 隆天知识产权代理有限公司 72003 | 代理人: | 崔炳哲 |
地址: | 日本京都*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 光学 测量 装置 | ||
1.一种光学测量装置,其中,具有:
光源,产生具有多个波长成分的照射光;
光学系统,对来自所述光源的照射光产生轴向色差,并且接收来自测量对象物的反射光,该测量对象物的至少一部分配置在光轴的延长线上;
受光部,包括分光器和检测器,所述分光器将在所述光学系统接收的反射光分离为各个波长成分,所述检测器中与所述分光器的分光方向对应地一维配置有多个受光元件;
导光部,包括将所述光学系统和所述受光部光学连接的多个纤芯,并且在邻接的所述多个纤芯之间设置间隔来减轻邻接的所述多个纤芯之间的串扰;以及
处理部,基于所述受光部的多个受光元件的各个检测值,计算出从所述光学系统到所述测量对象物的距离;
所述导光部和所述受光部构成为,在从所述光学系统侧向多个所述纤芯所包含的第一纤芯提供第一波长的第一光时,多个所述受光元件中入射该第一光的受光元件,与从所述光学系统侧向多个所述纤芯所包含的第二纤芯提供第一波长的第二光时,多个所述受光元件中入射该第二光的受光元件的至少一部分共用,
所述光学系统构成为,使向所述受光部入射的光的截面形状为沿所述多个受光元件的排列方向的长椭圆形。
2.根据权利要求1所述的光学测量装置,其中,
与所述受光部光学连接的所述导光部配置成,该导光部所包含的多个所述纤芯的排列方向和与多个所述受光元件的排列方向正交的方向具有对应关系。
3.根据权利要求1所述的光学测量装置,其中,
所述处理部一并获取从多个所述纤芯分别照射的多个光向单一受光元件入射而生成的检测值。
4.根据权利要求2所述的光学测量装置,其中,
所述处理部一并获取从多个所述纤芯分别照射的多个光向单一受光元件入射而生成的检测值。
5.根据权利要求1至4中任一项所述的光学测量装置,其中,
所述受光部还包括缩小光学系统,所述缩小光学系统配置在到所述检测器为止的光学路径上,对在所述导光部所包含的多个纤芯中传播并向所述受光部入射的、来自所述测量对象物的反射光的光点直径进行缩小。
6.根据权利要求5所述的光学测量装置,其中,
所述缩小光学系统构成为,在与所述检测器的检测面的纵横比例对应的特定方向上更加大幅度地缩小来自所述测量对象物的反射光的光点直径。
7.根据权利要求1至4中任一项所述的光学测量装置,其中,还包括选择部,所述选择部能够向所述导光部所包含的多个纤芯中的各个纤芯有选择地提供来自所述光源的照射光,
所述处理部根据所述测量对象物的形状,切换用于将照射光向所述测量对象物照射的纤芯。
8.根据权利要求1至4中任一项所述的光学测量装置,其中,
从所述导光部向所述光学系统射出照射光的端面构成为,具有比所述导光部的纤芯和包层的界面的临界角大的倾斜角。
9.根据权利要求1至4中任一项所述的光学测量装置,其中,
所述导光部包括配置成卷绕棒状构件的周围的光纤。
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