[发明专利]光学测量装置

说明书

本发明提供一种光学测量装置，通过提高光的利用效率，能够实现更高采样率。光学测量装置具有：光源，其产生具有多个波长成分的照射光；光学系统，其对来自光源的照射光产生轴向色差，并且接收来自至少一部分配置在光轴的延长线上的测量对象物的反射光；分光器，其将在光学系统接收的反射光分离为各个波长成分的光；检测器，其中与分光器的分光方向对应地一维配置有多个受光元件。导光部和受光部构成为，在从光学系统向多个纤芯所包含的第一纤芯提供第一波长的第一光时，多个受光元件中入射该第一光的受光元件，与从光学系统向多个纤芯所包含的第二纤芯提供第一波长的第二光时，多个受光元件中入射该第二光的受光元件的至少一部分共用。

技术领域

本发明涉及光学测量装置，能够以白光共聚焦方式对测量对象物的表面形状等进行测量。

背景技术

作为对测量对象物的表面形状等进行检查的设备，已知有白光共聚焦方式的光学测量装置。例如，在日本特开2012-208102号公报(专利文献1)中，公开了利用共聚焦光学系统以非接触方式对测量对象物的位移进行测量的共聚焦测量装置。

在国际公开第2014/076649号手册(专利文献2)中，公开了在共同的测量头导向装置内互相接近地配置多个点，并利用不同的检测器同时对各个点进行测量，从而对测量对象物的表面形状进行测量的结构。

在国际公开第02/02012号手册(专利文献3)中，公开了利用二维矩阵光电传感器对测量对象物进行三维测量的结构。

专利文献1：日本特开2012-208102号公报

专利文献2：国际公开第2014/076649号手册

专利文献3：国际公开第02/02012号手册

白光共聚焦方式由于在原理上从照射的光的波长成分中仅利用与距离对应的特定的波长成分，因此与使用单色激光的三角测距方式相比光的利用效率低。因此，例如，为更高速地对测量对象物进行检查而提高采样率时，则存在不能充分确保测量所需的光量的问题。

发明内容

本发明的目的在于提供一种结构，该结构与上述专利文献1至3中公开的结构相比，通过提高光的利用效率能够实现更高的采样率。

根据本发明的一个光学测量装置，其中，具有：光源，其产生具有多个波长成分的照射光；光学系统，其对来自光源的照射光产生轴向色差，并且接收来自测量对象物的反射光，该测量对象物的至少一部分配置在光轴的延长线上；受光部，其包括分光器和检测器，所述分光器将在光学系统接收的反射光分离为各个波长成分，在所述检测器中与分光器的分光方向对应地一维配置有多个受光元件；导光部，其包括将光学系统和受光部光学连接的多个纤芯(core)；以及处理部，其基于受光部的多个受光元件的各个检测值，计算出从光学系统到测量对象物的距离。导光部和受光部构成为，在从光学系统侧向多个所述纤芯所包含的第一纤芯提供第一波长的第一光时，多个受光元件中入射该第一光的受光元件，与从光学系统侧向多个纤芯所包含的第二纤芯提供第一波长的第二光时，多个受光元件中入射该第二光的受光元件的至少一部分共用。

优选地，与受光部光学连接的导光部配置成，该导光部所包含的多个纤芯的排列方向和与多个受光元件的排列方向正交的方向具有对应关系。

优选地，处理部一并获取从多个纤芯分别照射的多个光向单一受光元件入射而生成的检测值。