[发明专利]应用于测试的裸芯片结构及其制造方法有效
申请号: | 201611064905.0 | 申请日: | 2016-11-28 |
公开(公告)号: | CN106847719B | 公开(公告)日: | 2019-08-13 |
发明(设计)人: | 左瑜 | 申请(专利权)人: | 西安科锐盛创新科技有限公司 |
主分类号: | H01L21/66 | 分类号: | H01L21/66;G01R31/26 |
代理公司: | 西安嘉思特知识产权代理事务所(普通合伙) 61230 | 代理人: | 刘长春 |
地址: | 710054 陕西省西安市高新区高新路8*** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 应用于 测试 芯片 结构 及其 制造 方法 | ||
本发明公开一种应用于测试的裸芯片结构及其制造方法。该结构100包括:主PCB板101、副PCB板102、裸芯片103、焊盘104/106、键合丝105/107、垫片110、金属排针111、保护罩112及电气绝缘油114;垫片110粘结主PCB板101上且裸芯片103粘结垫片110上;焊盘104环绕于裸芯片103四周并设置于主PCB板101上且通过键合丝105与裸芯片103的金属PAD连接;副PCB板102位于焊盘104外围并粘结主PCB板101上且通过金属插针111与主PCB板101实现电气连接;焊盘106设置于副PCB板102上且通过键合丝107与裸芯片103的金属PAD连接;保护罩112粘结于主PCB板101上并在其内部注入电气绝缘油114。本发明中,结构呈高低高阶梯状,提高了单位面积上键合丝的密度,能够保证裸芯片粘结时金属PAD免受污染,避免裸芯片和键合丝在空气中氧化。
技术领域
本发明涉及半导体集成电路测试技术领域,涉及一种裸芯片与印制电路板连接和保护结构及其制造方法。
背景技术
芯片流片完成后,一般要将裸片封装于塑料材料或陶瓷材料中,对其提供环境保护,然后才能进行各种功能测试。封装周期占用了宝贵的测试时间,减缓产品的市场化步伐,因此对裸芯片进行测试成为国际上研究的热点。
晶圆级测试可通过晶圆探针及专用测试台对裸芯片进行测试,但只能够完成较为简单的测试任务,在芯片实际功能的测试方面有较多的局限性;国外一些公司推出KGD(Known Good Die)裸芯片产品,采用专用的夹具对裸芯片进行测试,夹具的特殊定制及开发周期仍不能满足芯片测试的时效性要求;目前,较为常用的是把裸芯片固定在PCB板上,使用键合机将芯片引脚和PCB板焊盘进行连接,再用专用胶水对整个结构进行覆盖保护,即可在实验室环境中对芯片进行全面的功能测试。但胶水一旦固化便很难从裸芯上去除,可维修性不佳,且胶水覆盖裸芯片的过程中可能会造成键合丝间的接触连接,可靠性较差。随着芯片复杂度的越来越高,功能管脚数量数以百计,需在PCB板上加工同样数量的一圈绑定焊盘作为键合点,由于键合丝长度要求,金属绑定焊盘面积和间距受到限制,键合时极易造成键合丝间的碰触连接,对PCB板加工精度及键合操作人员技术水平要求较高,在普通实验室条件下实现多管脚裸芯片和PCB板间的有效连接难度较大;且裸芯片面积越大,在PCB板上进行粘结时所需的导电胶越多,裸芯片按压在PCB板上时,会造成导电胶在裸芯片侧边的外溢,极易黏附在裸芯片金属PAD上,在金属PAD间形成短路,造成裸芯片报废。
发明内容
为了解决上述的技术问题,本发明提供了一种应用于测试的裸芯片结构及其制造方法。
本发明一实施例提供了一种应用于测试的裸芯片结构100,包括:主PCB板101、副PCB板102、裸芯片103、第一焊盘104、第一键合丝105、第二焊盘106、第二键合丝107、垫片110、金属排针111、保护罩112及电气绝缘油114;其中,
所述垫片110粘结于所述主PCB板101上且所述裸芯片103粘结于所述垫片110上;所述第一焊盘104环绕于所述裸芯片103四周并设置于所述主PCB板101上且通过所述第一键合丝105与所述裸芯片103的金属PAD连接;所述副PCB板102位于所述第一焊盘104外围并粘结于所述主PCB板101上且通过所述金属插针111与所述主PCB板101实现电气连接;所述第二焊盘106设置于所述副PCB板102上且通过所述第二键合丝107与所述裸芯片103的金属PAD连接;所述保护罩112粘结于所述主PCB板101上且将所述副PCB板102、所述裸芯片103、所述第一焊盘104、所述第一键合丝105、所述第二焊盘106、所述第二键合丝107及所述垫片110封装于其内部,并在其内部注入所述电气绝缘油114。
在本发明的一个实施例中,所述主PCB板101设置有第一通孔108,所述副PCB板102对应设置有第二通孔109,所述金属插针111插入对应设置的所述第一通孔108及所述第二通孔109以实现所述主PCB板101和所述副PCB板102的电气连接。
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