[发明专利]一种用于大直径单晶切割端面对正的装置有效
申请号: | 201611125741.8 | 申请日: | 2016-12-08 |
公开(公告)号: | CN108162222B | 公开(公告)日: | 2020-01-10 |
发明(设计)人: | 崔彬;白鸽玲;王雅楠;蔡丽艳;刘冰;姜舰;徐继平;朱秦发 | 申请(专利权)人: | 有研半导体材料有限公司 |
主分类号: | B28D7/00 | 分类号: | B28D7/00 |
代理公司: | 11100 北京北新智诚知识产权代理有限公司 | 代理人: | 刘秀青;熊国裕 |
地址: | 101300 北京*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 调节螺杆 固定框架 撞针结构 撞针 大直径单晶 切割端 弹簧控制 配套设施 切割设备 直径变化 直径单晶 装置结构 十字形 伸缩 单晶 弹簧 对正 微调 装卸 | ||
【权利要求书】:
1.一种用于大直径单晶切割端面对正的装置,其特征在于,该装置包括一个固定框架和四个撞针结构,所述固定框架呈十字形,所述四个撞针结构安装在固定框架的四个端部;所述撞针结构包含撞针、弹簧和调节螺杆,其中撞针安装在调节螺杆内并通过弹簧控制伸缩,通过调节螺杆对撞针前端的位置进行微调;所述固定框架安装在单线切割机的框架上,并与单线切割机的切割面平行。
2.根据权利要求1所述的用于大直径单晶切割端面对正的装置,其特征在于,所述调节螺杆通过螺纹连接在固定框架上。
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