[发明专利]一种液动压悬浮研磨抛光一体抛光角度可调装置

说明书

本发明公开了一种液动压悬浮研磨抛光一体抛光角度可调装置，包括抛光盘、液动压悬浮装置、升降装置、压力检测装置、抛光角度调整装置和支撑装置，所述抛光盘表面划分成十个基本单元，每个基本单元表面均包括从右至左依次设置的工件贴片区、锲形区域、蓄流槽和约束边界；所述抛光角度调整装置包括万向浮动接头，所述联轴器的另一端通过万向浮动接头连接抛光盘。本发明的装置结构简单紧凑、设备成本低；采用了万向浮动接头连接，使得抛光盘与研磨盘的贴合更紧密；采用了可滑动的弹簧组，使得抛光盘和研磨盘无间隙贴合进行研磨；通过伺服电机直接驱动抛光工具的旋转，避免了复杂的传动环节造成的误差积累，提高了加工精度。

技术领域

本发明涉及研磨抛光技术领域，更具体的说，尤其涉及一种液动压悬浮研磨抛光一体抛光角度可调装置。

背景技术

超精密加工技术是一门新兴的综合性加工技术。它集成了现代机械、光学、电子、计算机、测量及材料等先进技术成就，已成为国家科学技术发展水平的重要标志。为了获得各种元器件及装备的高性能，要求元件和零件的加工精度越来越高，有的甚至要求达到纳米级或更高的加工精度和无损伤的表面加工质量。

超精密抛光是目前最主要的终加工手段。抛光过程的材料去除量十分微小，一般在几微米以下。目前，非接触式抛光是获得超光滑表面的主要抛光方法。

常见的非接触抛光，如浮法抛光，其液动压效应较弱，加工效率低，不能完全消除抛光引起的表面残余应力；如动压浮离抛光，抛光压力分布不均匀，驱动轴回转精度要求高，抛光起始和终了阶段仍存在工件与磨粒的直接接触。

发明内容

本发明的目的在于解决现有的研磨抛光装置是独立开来的，现在为了解决装置独立，以及研磨后进行抛光需要二次装配问题，提出了一种稳定性好、定位精度高、液压动力稳定、抛光过程均匀性好、研磨盘和抛光盘贴合性好的液动压悬浮研磨抛光一体抛光角度可调装置。

本发明通过以下技术方案来实现上述目的：一种液动压悬浮研磨抛光一体抛光角度可调装置，包括抛光盘、液动压悬浮装置、升降装置、压力检测装置、抛光角度调整装置和支撑装置，所述抛光盘表面划分成十个基本单元，每个基本单元表面均包括从右至左依次设置的工件贴片区、锲形区域、蓄流槽和约束边界；

所述支撑装置包括后背板、左侧板和右侧板，所述左侧板和右侧板均垂直固定在所述后背板上；

所述升降装置包括第一伺服电机、滚珠丝杠、第一直线导轨、丝杠螺母、第一滑块，所述滚珠丝杠竖直安装在所述后背板上，滚珠丝杠的一端连接第一伺服电机，所述第一直线导轨设有两条，两条第一直线导轨分别竖直安装在左侧板和右侧板上，每条直线导轨上均套装有第一滑块，所述丝杠螺母套装在所述滚珠丝杠上；

所述液动压悬浮装置包括滚珠花键轴、底板、侧安装板、顶部固定板、第二直线导轨、第二滑块、联轴器、导向柱、带轮、同步带和第二伺服电机，所述丝杠螺母和两个第一滑块均与底板固定连接，第一伺服电机运动时带动所述底板沿第一直线导轨运动；所述侧安装板设有两块，两块侧安装板均竖直固定在所述底板上，所述顶部固定板水平固定在两块侧安装板的顶部，两块侧安装板上分别设有一条第二直线轨道；每条第二直线导轨上均套装有一个第二滑块，两个第二滑块固定在动板上；滚珠花键轴穿过底板与联轴器的一端连接，滚珠花键轴的上端固定在动板上，所述底板上固定有导向柱，导向柱的上端穿过动板，底板和动板之间的导向柱上套装有弹簧；所述滚珠花键轴上安装有带轮，带轮通过同步带连接固定在底板上的第二伺服电机，所述第二伺服电机通过同步带驱动带轮，将动力传递给滚珠花键轴，并带动抛光盘的高速转动；

所述压力检测装置包括螺纹检测轴和测力传感器，所述顶部固定板上设置有与所述螺纹检测轴相配合的通孔，螺纹检测轴通过螺栓固定在顶部固定板上，测力传感器固定在螺纹检测轴的底部，测力传感器在动板沿第二直线导轨上移时抵住所述动板；

所述抛光角度调整装置包括万向浮动接头，所述联轴器的另一端通过万向浮动接头连接抛光盘。