[发明专利]扩散源温度的调控方法及装置有效

专利信息
申请号: 201611141731.3 申请日: 2016-12-12
公开(公告)号: CN106601871B 公开(公告)日: 2019-03-15
发明(设计)人: 曹洋洋;张伟 申请(专利权)人: 徐州鑫宇光伏科技有限公司;协鑫集成科技股份有限公司;协鑫集成科技(苏州)有限公司
主分类号: H01L31/18 分类号: H01L31/18;H01L21/228
代理公司: 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 代理人: 唐清凯
地址: 221000 江苏省徐州*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 扩散 温度 调控 方法 装置
【权利要求书】:

1.一种扩散源温度的调控装置,其特征在于,所述装置包括:

液位传感器,用于实时获取扩散源的当前剩余体积;

判断模块,用于在所述当前剩余体积下判断是否需要提高所述扩散源的温度;

提高模块,用于在所述判断模块判断需要提高所述扩散源的温度时,则提高所述扩散源的温度;

其中,所述判断模块包括:

获取模块,用于在所述当前剩余体积下获取对应的方阻值;

差值检测模块,用于检测所述方阻值与预设值之间的差值是否大于预设差值,所述预设值为剩余体积为100%时对应的方阻值;

第一判断模块,用于在所述差值检测模块检测到所述方阻值与预设值之间的差值大于预设差值时,则判断需要提高所述扩散源的温度;

所述提高模块包括:

变化值获取模块,用于根据所述方阻值与预设值之间的差值获取需要增加的所述扩散源的温度变化值;

第一提高模块,用于将所述扩散源的当前温度提高至所述扩散源的当前温度与需要增加的温度变化值之和。

2.根据权利要求1所述的装置,其特征在于,所述判断模块包括:

体积检测模块,用于检测所述当前剩余体积是否达到预设的体积值;

第二判断模块,用于在所述体积检测模块检测到所述当前剩余体积达到预设的体积值时,则判断需要提高所述扩散源的温度。

3.根据权利要求2所述的装置,其特征在于,所述提高模块包括:

温度值获取模块,用于获取与所述预设的体积值对应关联的扩散源的温度值;

第二提高模块,用于将所述扩散源的当前温度提高至与所述预设的体积值对应关联的扩散源的温度值。

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