[发明专利]扩散源温度的调控方法及装置

说明书

本发明涉及一种扩散源温度的调控方法及装置，所述方法包括：实时获取扩散源的当前剩余体积；在所述当前剩余体积下判断是否需要提高所述扩散源的温度；若是，则提高所述扩散源的温度。本发明在太阳能晶体硅电池的生产过程，实时获取生产过程中扩散源的当前剩余体积，并根据当前剩余体积判断是否需要提高扩散源温度，如果需要，则提高扩散源的温度；由此，在生产过程中，当前剩余体积的减少，会导致方阻偏大，此时为保持方阻的稳定性，可以提高扩散源的温度降低方阻，使方阻保持稳定；同时，不反应气体相对携带的扩散源量也会增加，防止不反应气体在扩散源的液位降低时导致携带的扩散源量减小，从而提高太阳能电池的工艺参数的稳定性。

技术领域

本发明涉及晶体硅太阳能电池领域，特别是涉及一种扩散源温度的调控方法及装置。

背景技术

目前大规模生产中，晶体硅电池PN节制作的扩散工艺常规使用液态扩散源进行，利用高温扩散在P型或N型基底扩散进单质磷或硼形成太阳能电池，然后测试扩散后的薄层电阻(方阻)衡量扩散效果。

通常影响太阳能电池扩散效果的主要因素有：片源体材质、扩散温度、扩散时间、扩散气体流量(氮气、氧气、扩散源量)。扩散源一般情况下为液态，不能直接通入炉管进行扩散，因此，扩散源主要为利用不反应气体通入液态扩散源中携带扩散源进入炉管内，与炉管内的氧气、硅片进行扩散反应。

不反应气体携带的扩散源量与扩散源液位高度和扩散源实际温度相关。当扩散源液位高时，不反应气体相对携带扩散源量多，扩散方阻变小，反之则少，扩散方阻变大。扩散源温度高时，不反应气体相对携带的扩散源量多，扩散方阻变小，反之则少，扩散方阻变大。

随着生产过程中的持续进行，扩散源的持续使用会导致扩散源液位下降，相同不反应气体携带的扩散源量则会减少，导致方阻偏大。目前的做法通常是增加扩散管的整体温度，防止方阻增大。但这种做法在生产中，虽然可以使方阻相同，但不反应气体实际携带的扩散源量会有减少，对于生产的太阳能电池，会导致其工艺参数发生变化，不利于对太阳能电池的工艺参数的稳定性管控。

发明内容

基于此，有必要提供一种扩散源温度的调控方法及装置，提高太阳能电池的工艺参数的稳定性。

一种扩散源温度的调控方法，所述方法包括：

实时获取扩散源的当前剩余体积；

在所述当前剩余体积下判断是否需要提高所述扩散源的温度；

若是，则提高所述扩散源的温度。

在其中一个实施例中，在所述当前剩余体积下判断是否需要提高所述扩散源的温度包括：

在所述当前剩余体积下获取对应的方阻值；

检测所述方阻值与预设值之间的差值是否大于预设差值；

若是，则判断需要提高所述扩散源的温度。

在其中一个实施例中，所述提高所述扩散源的温度包括：

根据所述方阻值与预设值之间的差值获取需要增加的所述扩散源的温度变化值；

将所述扩散源的当前温度提高至所述扩散源的当前温度与需要增加的温度变化值之和。

在其中一个实施例中，在所述当前剩余体积下判断是否需要提高所述扩散源的温度包括：

检测所述当前剩余体积是否达到预设的体积值；

若是，则判断需要提高所述扩散源的温度。

在其中一个实施例中，所述提高所述扩散源的温度包括：

获取与所述预设的体积值对应关联的扩散源的温度值；

将所述扩散源的当前温度提高至与所述预设的体积值对应关联的扩散源的温度值。