[发明专利]探针卡

权利要求书

1.一种探针卡，其特征在于，所述探针卡包含：

一配线板；

一顶盖，所述顶盖耦合所述配线板，所述顶盖上具有至少一进气孔；

一伸缩结构，所述伸缩结构连接所述顶盖，所述伸缩结构包含：

一第一环，所述第一环上具有多个通气孔，所述顶盖具有一底表面，所述顶盖的底表面面对所述第一环，所述第一环具有一顶表面，所述第一环的顶表面面对所述顶盖，所述第一环的顶表面与所述顶盖的底表面共同定义一匀化空间，所述匀化空间连通所述顶盖的所述进气孔与所述第一环的所述通气孔；以及

一第二环，所述第二环能移动地与所述第一环相耦合，且所述第二环具有一由所述第二环的内侧壁向内延伸的内环及多个喷气孔，多个所述喷气孔穿设所述内环并连通多个所述通气孔，所述第二环具有背对所述顶盖的一底表面，所述底表面位于所述内环，多个所述喷气孔的出口位于所述第二环的底表面，其中，所述第一环的内侧壁与所述第二环的内侧壁共同定义一压力空间；以及

至少一探针，所述探针电性连接所述配线板，并且所述探针延伸至所述压力空间中。

2.根据权利要求1所述的探针卡，其特征在于，所述顶盖上具有多个所述进气孔，多个所述进气孔中的至少一个所述进气孔为缓冲进气孔，所述缓冲进气孔连通所述匀化空间，多个所述进气孔中的至少一个所述进气孔为压力进气孔，所述压力进气孔连通所述压力空间。

3.根据权利要求1所述的探针卡，其特征在于，所述第二环的底表面与所述第二环的外侧壁之间形成的内角是锐角。

4.根据权利要求1所述的探针卡，其特征在于，多个所述喷气孔沿着由所述第二环的底表面至所述压力空间的长度方向与所述第二环的轴线之间具有角度，所述角度大于1度并且小于10度。

5.根据权利要求1所述的探针卡，其特征在于，所述第一环的顶表面具有一凹陷，所述凹陷与所述顶盖的底表面共同定义出所述匀化空间，多个所述通气孔穿设所述凹陷至所述第一环的底面。

6.根据权利要求5所述的探针卡，其特征在于，多个所述通气孔面对所述内环。

7.一种探针卡，其特征在于，所述探针卡包含：

一配线板；

一顶盖，所述顶盖耦合所述配线板，所述顶盖上具有至少一进气孔；

一伸缩结构，所述伸缩结构包含：

一第一环，所述第一环连接所述顶盖；以及

一第二环，所述第二环能移动地与所述第一环相耦合，且所述第二环具有一由所述第二环的内侧壁向内延伸的内环并具有背对所述顶盖的一倾斜底表面，所述倾斜底表面至少部分位于所述内环，所述第一环的内侧壁与所述第二环的内侧壁共同定义一压力空间；以及

至少一探针，所述探针电性连接所述配线板，并且所述探针延伸至所述压力空间中。

8.根据权利要求7所述的探针卡，其特征在于，所述第二环的所述倾斜底表面与所述第二环的外侧壁之间形成一大于或等于82度并且小于或等于89度的内角。

9.根据权利要求7所述的探针卡，其特征在于，所述第一环的顶表面具有一凹陷，且所述第一环具有多个通气孔穿设所述凹陷至所述第一环的底面，并且多个所述通气孔与所述压力空间相连通。

10.一种探针卡，其特征在于，所述探针卡包含：

一配线板；

一顶盖，所述顶盖耦合所述配线板，所述顶盖上具有至少一进气孔；

一伸缩结构，所述伸缩结构连接所述顶盖，所述伸缩结构包含：

一第一环，所述第一环固设于所述顶盖，所述第一环具有多个通气孔及一凹陷；以及

一第二环，所述第二环能移动地与所述第一环相耦合，所述第二环具有一由所述第二环的内侧壁向内延伸的内环及多个喷气孔，多个所述通气孔穿设所述凹陷至该第一环的底面并面对所述内环，多个所述喷气孔穿设所述内环并连通多个所述通气孔与所述至少一进气孔，其中，所述第一环的内侧壁与所述第二环的内侧壁共同定义一压力空间，且所述凹陷对所述内环的投影，与所述内环至少部分重叠；以及

至少一探针，所述至少一探针电性连接所述配线板，并且所述至少一探针延伸至所述压力空间中。