[发明专利]一种减薄机的真空过滤系统及方法

权利要求书

1.一种减薄机的真空过滤系统，其特征在于，所述真空过滤系统包括：

密封腔体，所述密封腔体上分别设有真空接口、气源接口与排液接口，其中，在竖直方向上，所述真空接口与所述气源接口在所述密封腔体上的高度均高于所述排液接口在所述密封腔体上的高度；

所述真空接口通过第一管路连接至真空源，所述第一管路上设有一真空电磁阀；

所述气源接口通过第二管路连接至减薄机的气路终端；

通过第三管路与所述第二管路连通的气源，所述第三管路上设有一气体电磁阀；

与所述排液接口连接的排液管路，所述排液管路上设有一液体电磁阀；

与所述真空电磁阀、所述气体电磁阀以及所述液体电磁阀电连接的控制装置；

其中，所述控制装置用于：控制所述真空电磁阀打开，所述气体电磁阀与所述液体电磁阀同时关闭，使所述真空源产生的真空通过所述密封腔体达到所述气路终端；以及，当所述气路终端产生的废液通过所述第二管路进入到所述密封腔体时，控制所述液体电磁阀打开，所述真空电磁阀与所述气体电磁阀同时关闭，使废液通过所述排液管路排出，以进行气液分离；

其中，所述控制装置还用于：控制所述气体电磁阀打开，所述真空电磁阀与所述液体电磁阀同时关闭，使所述气源产生的气体通过所述密封腔体达到所述气路终端，以供所述气路终端使用。

2.如权利要求1所述的真空过滤系统，其特征在于，所述第一管路上设有一真空减压阀，所述真空减压阀设置于所述真空源与所述真空电磁阀之间，或者所述真空减压阀设置于所述真空电磁阀与所述真空接口之间。

3.如权利要求1所述的真空过滤系统，其特征在于，所述第三管路上设有一气体减压阀，所述气体减压阀设置于所述气源与所述气体电磁阀之间，或者所述气体减压阀设置于所述气体电磁阀与所述气源接口之间。

4.如权利要求1所述的真空过滤系统，其特征在于，所述第三管路与所述第二管路连接的末端设有一压力传感器，用于检测所述气路终端内的气体压力值。

5.如权利要求1所述的真空过滤系统，其特征在于，所述真空接口与所述气源接口均设置于所述密封腔体的顶端，所述排液接口设置于所述密封腔体的底端。

6.如权利要求1所述的真空过滤系统，其特征在于，所述真空接口、所述气源接口以及所述排液接口的数量至少为一个，所述第一管路、第二管路、排液管路的数量分别与所述真空接口、所述气源接口以及所述排液接口的数量相同。

7.如权利要求1所述的真空过滤系统，其特征在于，所述真空接口、所述气源接口以及所述排液接口均为快插接口。

8.如权利要求1所述的真空过滤系统，其特征在于，所述气路终端为承片台、清洗台或者真空机械手。

9.一种减薄机的真空过滤方法，应用于如权利要求1～8任一项所述的减薄机的真空过滤系统，其特征在于，所述真空过滤方法包括：

向真空电磁阀、气体电磁阀以及液体电磁阀发送第一控制信号，控制所述真空电磁阀打开，所述气体电磁阀与所述液体电磁阀同时关闭，使所述真空源产生的真空通过所述密封腔体达到所述气路终端；

当所述气路终端产生的废液通过所述第二管路进入到所述密封腔体时，向所述真空电磁阀、所述气体电磁阀以及所述液体电磁阀发送第二控制信号，控制所述液体电磁阀打开，所述真空电磁阀与所述气体电磁阀同时关闭，使废液通过所述排液管路排出，以进行气液分离；

其中，所述真空过滤方法还包括：

向所述真空电磁阀、所述气体电磁阀以及所述液体电磁阀发送第三控制信号，控制所述气体电磁阀打开，所述真空电磁阀与所述液体电磁阀同时关闭，使所述气源产生的气体通过所述密封腔体达到所述气路终端，以供所述气路终端使用。