[发明专利]柔性显示屏制作装置及制作方法有效
申请号: | 201611159020.9 | 申请日: | 2016-12-15 |
公开(公告)号: | CN106783682B | 公开(公告)日: | 2019-11-22 |
发明(设计)人: | 蔡哲汶;王思元 | 申请(专利权)人: | 武汉华星光电技术有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67;H01L21/683;H01L27/32;H01L21/77;H01L21/78 |
代理公司: | 44304 深圳市铭粤知识产权代理有限公司 | 代理人: | 孙伟峰<国际申请>=<国际公布>=<进入 |
地址: | 430070 湖北省武汉市*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 柔性 显示屏 制作 装置 制作方法 | ||
1.一种柔性显示屏制作装置,其特征在于,包括起承载作用且耐高温的平台(201)和固定在所述平台(201)旁、转动方向和速度可调整的张力控制轮(202),所述平台(201)为方形,所述张力控制轮(202)为四个,分别设于所述平台(201)的四周,用于固定柔性薄膜基板的裙边,四个所述张力控制轮(202)的转轴分别对应平行于所述平台(201)的四周的侧边。
2.根据权利要求1所述的柔性显示屏制作装置,其特征在于,还包括隔热材料层(203),所述隔热材料层(203)设于所述平台(201)背面与机电集成模块(205)之间。
3.根据权利要求2所述的柔性显示屏制作装置,其特征在于,还包括连接所述机电集成模块(205)的传感器,所述传感器用于监控柔性显示屏制作过程中各层结构的温度,并反馈给所述机电集成模块(205)以调整所述张力控制轮(202)的转动状态。
4.根据权利要求2所述的柔性显示屏制作装置,其特征在于,所述平台(201)和/或所述张力控制轮(202)为金属、石英或陶瓷。
5.根据权利要求2所述的柔性显示屏制作装置,其特征在于,还包括冷却系统层(204),所述冷却系统层(204)设于所述隔热材料层(203)和机电集成模块(205)之间。
6.一种柔性显示屏制作方法,其特征在于,包括:
制作柔性薄膜基板(100):将已固化的耐高温薄膜材料裁切成至少两相对侧具有裙边(102)的形状,形成柔性薄膜基板(100);
固定柔性薄膜基板(100):将柔性薄膜基板(100)放置在平台(201)表面,并将裙边(102)固定在张力控制轮(202)上,所述平台(201)为方形,所述张力控制轮(202)为四个,分别设于所述平台(201)的四周;
依次在柔性薄膜基板(100)上形成TFT薄膜层(300)、OLED薄膜层(400)和薄膜封装层(500),在形成TFT薄膜层(300)、OLED薄膜层(400)的过程中还包括:根据TFT薄膜层(300)、OLED薄膜层(400)的温度调节相应的张力控制轮(202)的转动速度,以调整柔性薄膜基板(100)上的张力;
将柔性薄膜基板(100)从平台(201)分离;
切割:切除多余的裙边(102)。
7.根据权利要求6所述的柔性显示屏制作方法,其特征在于,所述将柔性薄膜基板(100)从平台(201)分离的步骤为:相向转动两个相对的张力控制轮(202),使裙边(102)翘起而被剥离。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造