[发明专利]一种晶圆扫描清洗摆臂装置

权利要求书

1.一种晶圆扫描清洗摆臂装置，包括第一壳体（1）和支撑板（4），第一壳体（1）的侧壁上焊接有支撑板（4），其特征在于，所述支撑板（4）的顶端设有固定座（5），固定座（5）的内部设有第一电动机（6），第一电动机（6）的输出轴连接有偏心轮（7），偏心轮（7）的顶端粘连有三个吸盘（8），所述第一壳体（1）的内部设有第一连接臂（3），第一连接臂（3）与第一壳体（1）活动连接，第一连接臂（3）的顶端延伸至第一壳体（1）的上方，第一连接臂（3）的顶端开有第一凹槽，第一凹槽的底端侧壁上安装有第一气缸（2），第一气缸（2）的活塞杆焊接有第二连接臂（20），第二连接臂（20）与第一凹槽的侧壁滑动连接，第二连接臂（20）的顶端焊接有水平设置的横杆（10），横杆（10）的一侧内部设有空腔，空腔内设有水平设置的第二电动机（11），第二电动机（11）的输出轴连接有喷嘴安装座（12），喷嘴安装座（12）的底端连接有喷嘴装置（13），所述横杆（10）的底端连接有翻转夹持装置（9），翻转夹持装置（9）包括连接杆（91），连接杆（91）的顶端焊接在横杆（10）上，连接杆（91）的底端焊接有第二壳体（93），第二壳体（93）的内部设有第三电动机（92），第三电动机（92）的输出轴连接有夹持箱（95），夹持箱（95）的内部设有第二气缸（94），第二气缸（94）的活塞杆铰接有活动夹板（96），活动夹板（96）延伸至夹持箱（95）的外部，夹持箱（95）远离第二壳体（93）的一侧侧壁上连接有固定夹板（97），固定夹板（97）和活动夹板（96）的中间位置相互铰接，且夹持箱（95）位于偏心轮（7）的一侧。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆扫描清洗摆臂装置，其特征在于，所述第一壳体（1）的内部设有第三电动机（14）和垂直设置的转轴（18），转轴（18）位于第三电动机（14）与第一连接臂（3）之间，转轴（18）与第一壳体（1）的侧壁活动连接，转轴（18）上安装有第一齿轮（16）和滚筒（17），滚筒（17）位于第一齿轮（16）的上方，滚筒（17）与第一连接臂（3）之间连接有传动皮带（19），第三电动机（14）的输出轴连接有第二齿轮（15），第二齿轮（15）与第一齿轮（16）相互啮合。

3.根据权利要求1所述的一种晶圆扫描清洗摆臂装置，其特征在于，所述喷嘴装置（13）包括固定板、万向管、喷嘴和导管，固定板和万向管的内部均设有导管，导管连接有喷嘴，万向管的一端连接有固定板，万向管的另一端连接有喷嘴。

4.根据权利要求1所述的一种晶圆扫描清洗摆臂装置，其特征在于，所述第一壳体（1）的内壁底端设有环形滑轨，第一连接臂（3）的底端设有环形滑块，环形滑轨与环形滑轨相配合。

5.根据权利要求1所述的一种晶圆扫描清洗摆臂装置，其特征在于，三个吸盘（8）在偏心轮（7）的顶端呈三角形设置。

6.根据权利要求1所述的一种晶圆扫描清洗摆臂装置，其特征在于，所述固定夹板（97）和活动夹板（96）相互靠近的一侧均设有橡胶片，橡胶片上开有防滑纹。

7.根据权利要求2所述的一种晶圆扫描清洗摆臂装置，其特征在于，所述第三电动机（14）为伺服电机，第二齿轮（15）与第一齿轮（16）的传动比为1：3至1:5。