[发明专利]一种晶圆扫描清洗摆臂装置

说明书

本发明公开了一种晶圆扫描清洗摆臂装置，包括第一壳体和支撑板，第一壳体的侧壁上焊接有支撑板，所述支撑板的顶端设有固定座，固定座的内部设有第一电动机，第一电动机的输出轴连接有偏心轮，偏心轮的顶端粘连有三个吸盘，所述第一壳体的内部设有第一连接臂，第一连接臂与第一壳体活动连接，第一连接臂的顶端延伸至第一壳体的上方，第一连接臂的顶端开有第一凹槽，第一凹槽的底端侧壁上安装有第一气缸，第一气缸的活塞杆焊接有第二连接臂，第二连接臂与第一凹槽的侧壁滑动连接。本发明能够对晶圆的双面均进行清洗，翻转方便快捷，不需要手工操作，能从多个角度对晶圆进行扫描清洗，清洗效果好，工作效率高。

技术领域

本发明涉及晶圆清洗技术领域，尤其涉及一种晶圆扫描清洗摆臂装置。

背景技术

一般来说，芯片生产全部工艺过程中，高达20％的步骤为晶圆清洗，晶圆表面有四大常见类型的污染：微细颗粒、有机残余物、无机残余物、需要去除的氧化层，晶圆清洗的目的是为了去除附着于晶圆表面上的有机化合物、金属杂质或微细颗粒、需要去除的氧化层，专利CN104810310A中提出了一种晶圆扫描清洗摆臂装置，其解决了在晶圆清洗时，清洗效果差，存在清洗死角的问题，但其只能对晶圆的一面进行清洗，需要人工进行翻转，清洗不方便，而且其对晶圆的清洗角度调整不方便，为此我们提出一种晶圆扫描清洗摆臂装置，来解决上述问题。

发明内容

本发明的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种晶圆扫描清洗摆臂装置。

为了实现上述目的，本发明采用了如下技术方案：

一种晶圆扫描清洗摆臂装置，包括第一壳体和支撑板，第一壳体的侧壁上焊接有支撑板，所述支撑板的顶端设有固定座，固定座的内部设有第一电动机，第一电动机的输出轴连接有偏心轮，偏心轮的顶端粘连有三个吸盘，所述第一壳体的内部设有第一连接臂，第一连接臂与第一壳体活动连接，第一连接臂的顶端延伸至第一壳体的上方，第一连接臂的顶端开有第一凹槽，第一凹槽的底端侧壁上安装有第一气缸，第一气缸的活塞杆焊接有第二连接臂，第二连接臂与第一凹槽的侧壁滑动连接，第二连接臂的顶端焊接有水平设置的横杆，横杆的一侧内部设有空腔，空腔内设有水平设置的第二电动机，第二电动机的输出轴连接有喷嘴安装座，喷嘴安装座的底端连接有喷嘴装置，所述横杆的底端连接有翻转夹持装置，翻转夹持装置包括连接杆，连接杆的顶端焊接在横杆上，连接杆的底端焊接有第二壳体，第二壳体的内部设有第三电动机，第三电动机的输出轴连接有夹持箱，夹持箱的内部设有第二气缸，第二气缸的活塞杆铰接有活动夹板，活动夹板延伸至夹持箱的外部，夹持箱远离第二壳体的一侧侧壁上连接有固定夹板，固定夹板和活动夹板的中间位置相互铰接，且夹持箱位于偏心轮的一侧。

优选的，所述第一壳体的内部设有第三电动机和垂直设置的转轴，转轴位于第三电动机与第一连接臂之间，转轴与第一壳体的侧壁活动连接，转轴上安装有第一齿轮和滚筒，滚筒位于第一齿轮的上方，滚筒与第一连接臂之间连接有传动皮带，第三电动机的输出轴连接有第二齿轮，第二齿轮与第一齿轮相互啮合。

优选的，所述喷嘴装置包括固定板、万向管、喷嘴和导管，固定板和万向管的内部均设有导管，导管连接有喷嘴，万向管的一端连接有固定板，万向管的另一端连接有喷嘴。

优选的，所述第一壳体的内壁底端设有环形滑轨，第一连接臂的底端设有环形滑块，环形滑轨与环形滑轨相配合。

优选的，三个吸盘在偏心轮的顶端呈三角形设置。

优选的，所述固定夹板和活动夹板相互靠近的一侧均设有橡胶片，橡胶片上开有防滑纹。

优选的，所述第三电动机为伺服电机，第二齿轮与第一齿轮的传动比为1：3至1:5。