[发明专利]基板烘烤机台及其烘烤作业方法

权利要求书

1.一种基板烘烤机台，其特征在于，包括：

一环状承载本体，用以覆盖一基板；

一盖板，设置于所述环状承载本体上，并与所述盖板定义出一密闭式腔室，其中所述基板的一表面位于所述密闭式腔室内；

一空气输入单元及一抽气输出单元，分别设置于所述密闭式腔室的一输入端及一输出端；以及

一排气调节抽气系统，设置于所述盖板上方，并连通于所述密闭式腔室，用以将所述基板大量挥发物的蒸气气体给予调节排出。

2.如权利要求1所述的基板烘烤机台，其特征在于，更包括：

一排气调节阀，安装于所述密闭式腔室上方四周，用以调节所述密闭式腔室四周的挥发物气体。

3.如权利要求1所述的基板烘烤机台，其特征在于，所述排气调节抽气系统，更包括：

一抽风管单元，将该些基板的挥发气体导引至抽风管线给予排出。

4.如权利要求1所述的基板烘烤机台，其特征在于，所述空气输入单元为一干燥洁净空气输入单元。

5.如权利要求1所述的基板烘烤机台，其特征在于，所述抽气输出单元为一抽风马达。

6.如权利要求1所述的基板烘烤机台，其特征在于，所述排气调节抽气系统具有多个孔洞，其连通于所述密闭式腔室。

7.如权利要求1所述的基板烘烤机台，其特征在于，更包括：

一控制面板单元，用以操作所述机台的加热、排气的作业；以及

一加热单元，用以加热所述基板，并进行所述基板的挥发作业。

8.一种基板烘烤作业方法，其特征在于，包括：

提供如权利要求7所述的基板烘烤机台；

依据所述加热单元，加热该些基板以产生其挥发气体；以及

透过所述空气输入单元、一抽气输出单元及所述排气调节抽气系统，将所述挥发气体给予排出。

9.如权利要求8所述的基板烘烤作业方法，其特征在于，所述透过所述空气输入单元、一抽气输出单元及所述排气调节抽气系统，将所述挥发气体给予排出的步骤包括：

利用所述空气输入单元，用以带动所述基板的一表面上的挥发气体；

利用所述排气调节阀单元，用以调节所述密闭式腔室四周的挥发物气体；

藉由所述抽风管单元，将该些基板上的挥发气体导引至抽风管线给予排出；以及

利用所述抽气输出单元，将该些基板上的挥发气体抽出所述机台。

10.如权利要求9所述的基板烘烤作业方法，其特征在于，所述抽气输出单元为一抽风马达。