[发明专利]一种单台面直写式曝光机有效
| 申请号： | 201611183042.9 | 申请日： | 2016-12-20 |
| 公开（公告）号： | CN106527056B | 公开（公告）日： | 2019-03-12 |
| 发明（设计）人： | 蔡志国;王友车;吴斌 | 申请（专利权）人： | 湖北凯昌光电科技有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 深圳市千纳专利代理有限公司 44218 | 代理人： | 黄良宝 |
| 地址： | 432900 湖北省*** | 国省代码： | 湖北;42 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 驱动模组 标定模块 曝光机 工作台 曝光镜头 单台面 滑动 标定 直写 底座 龙门立柱 标定模 驱动 底架 一次性完成 标定位置 能量标定 | ||
1.一种单台面直写式曝光机，包括底座，底座上设有龙门立柱，龙门立柱上设有X轴向排列的曝光镜头，其特征在于：还包括工作台，工作台上设有底架、处于底架上的用于标定曝光镜头的标定模块以及用于驱动标定模块X轴方向滑动的标定模组，工作台下方设有用于驱动工作台X轴方向滑动的第一驱动模组，底座上设有用于驱动工作台Y轴方向滑动的第二驱动模组，第一驱动模组设置在第二驱动模组上方；标定模组包括X轴方向设置在底架上的丝杆、驱动丝杆转动的丝杆电机以及连接丝杆和丝杆电机的联轴器，标定模块套在丝杆上；
标定模组还包括设置在底架上用于限制标定模块移动位置的限位开关；
第一驱动模组包括X轴方向设置的第一基板、X轴方向设置在第一基板上的第一滑轨和沿着第一滑轨滑动的第一滑板，第一基板上设有第一定子组，第一滑板内设有用于驱动第一滑板滑动的第一动子组，第一动子组与第一定子组配合，工作台设置在第一滑板上；第二驱动模组包括Y轴方向固定在底座上的第二基板、Y轴方向设置在第二基板上的第二滑轨和沿着第二滑轨滑动的第二滑板，第二基板上设有第二定子组，第二滑板内设有用于驱动第二滑板滑动的第二动子组，第二动子组与第二定子组配合，第二基板穿过龙门立柱，第一基板设置在第二滑板上。
2.根据权利要求1所述的单台面直写式曝光机，其特征在于：第一基板上还设有用于限制第一滑板的滑动位置的第一限位开关。
3.根据权利要求1所述的单台面直写式曝光机，其特征在于：第一基板上还设有用于防止第一滑板自第一滑轨上脱落的第一限位块。
4.根据权利要求1所述的单台面直写式曝光机，其特征在于：第二基板上还设有用于限制第二滑板的滑动位置的第二限位开关。
5.根据权利要求1所述的单台面直写式曝光机，其特征在于：第二基板上还设有用于防止第二滑板自第二滑轨上脱落的第二限位块。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于湖北凯昌光电科技有限公司，未经湖北凯昌光电科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201611183042.9/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
