[发明专利]一种单台面直写式曝光机

说明书

本发明提供了一种单台面直写式曝光机，属于曝光机领域，其包括底座，底座上设有龙门立柱，龙门立柱上设有X轴向排列的曝光镜头，还包括工作台，工作台上设有底架、处于底架上的用于标定曝光镜头的标定模块以及用于驱动标定模块X轴方向滑动的标定模组，工作台下方设有用于驱动工作台X轴方向滑动的第一驱动模组，底座上设有用于驱动工作台Y轴方向滑动的第二驱动模组，第一驱动模组设置在第二驱动模组上方。与现有技术相比，该单台面直写式曝光机采用一套标定模块完成标定，标定流程简单，标定位置准确，第一驱动模组和第二驱动模组协同作用并结合标定模组使标定模块的行程能够一次性完成整个曝光镜头的能量标定。

技术领域

本发明涉及曝光机领域，特别是一种单台面直写式曝光机。

背景技术

目前单台面直写光刻装置的能量标定系统在布局上受限于整机设备不能太宽，水平横向行程窄，工艺过程要求过于精密，无法低成本做到大行程等，必须使用两个能量监测模块，左边模块标定左半部分镜头，右边模块标定右半部分镜头，这样来完成整个曝光镜头的能量标定，这样在能量标定过程中，水平横向轴就需要来回重复移动，既浪费了时间，又造成标定流程相对复杂，同时浪费了一套标定模块，增加了成本。

发明内容

针对上述问题，本发明提供了一种单台面直写式曝光机，该曝光机采用一套标定模块完成标定，标定流程简单，标定准确。

本发明采用的技术方案为：

一种单台面直写式曝光机，包括底座，底座上设有龙门立柱，龙门立柱上设有X轴向排列的曝光镜头，还包括工作台，工作台上设有底架、处于底架上的用于标定曝光镜头的标定模块以及用于驱动标定模块X轴方向滑动的标定模组，工作台下方设有用于驱动工作台X轴方向滑动的第一驱动模组，底座上设有用于驱动工作台Y轴方向滑动的第二驱动模组，第一驱动模组设置在第二驱动模组上方；标定模组包括X轴方向设置在底架上的丝杆、驱动丝杆转动的丝杆电机以及连接丝杆和丝杆电机的联轴器，标定模块套在丝杆上。优选地，标定模组还包括设置在底架上用于限制标定模块移动位置的限位开关。

优选地，第一驱动模组包括X轴方向设置的第一基板、X轴方向设置在第一基板上的第一滑轨和沿着第一滑轨滑动的第一滑板，第一基板上设有第一定子组，第一滑板内设有用于驱动第一滑板滑动的第一动子组，第一动子组与第一定子组配合，工作台设置在第一滑板上。

更优选地，第一基板上还设有用于限制第一滑板的滑动位置的第一限位开关。

更优选地，第一基板上还设有用于防止第一滑板自第一滑轨上脱落的第一限位块。

优选地，第二驱动模组包括Y轴方向固定在底座上的第二基板、Y轴方向设置在第二基板上的第二滑轨和沿着第二滑轨滑动的第二滑板，第二基板上设有第二定子组，第二滑板内设有用于驱动第二滑板滑动的第二动子组，第二动子组与第二定子组配合，第二基板穿过龙门立柱，第一基板设置在第二滑板上。

更优选地，第二基板上还设有用于限制第二滑板的滑动位置的第二限位开关。

更优选地，第二基板上还设有用于防止第二滑板自第二滑轨上脱落的第二限位块。

与现有技术相比，本发明的有益效果在于：本发明提供一种单台面直写式曝光机，该曝光机采用一套标定模块完成标定，标定流程简单，标定位置准确，第一驱动模组和第二驱动模组协同作用并结合标定模组使标定模块的行程能够一次性完成整个曝光镜头的能量标定。

附图说明

图1为本发明提供的一种单台面直写式曝光机的立体图；

图2为本发明提供的一种单台面直写式曝光机中标定模组的示意图；

图3为本发明提供的一种单台面直写式曝光机中第一驱动模组的示意图；

图4为本发明提供的一种单台面直写式曝光机中第二驱动模组的示意图。