[发明专利]可更换子板的探针卡及其使用方法在审

专利信息
申请号: 201611183663.7 申请日: 2016-12-20
公开(公告)号: CN107015035A 公开(公告)日: 2017-08-04
发明(设计)人: 张嘉泰 申请(专利权)人: 旺矽科技股份有限公司
主分类号: G01R1/073 分类号: G01R1/073
代理公司: 北京纪凯知识产权代理有限公司11245 代理人: 关畅,王燕秋
地址: 中国台湾新*** 国省代码: 台湾;71
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摘要:
搜索关键词: 更换 探针 及其 使用方法
【权利要求书】:

1.一种可更换子板的探针卡,其特征在于包含有:

一母板,具有朝向相反方向的一上表面及一下表面、多个设于所述上表面的电性接点、一子板对应区,以及一位于所述子板对应区内的探针区,所述各电性接点将所述母板的上表面区分出一邻接所述母板一周缘的第一测试区、位于所述子板对应区与所述第一测试区之间的至少一第二测试区,以及位于所述子板对应区内的至少一中介体连接区,所述母板的电性接点包含有多个位于所述第一测试区的第一测试接点、多个位于所述第二测试区的第二测试接点,以及多个位于所述中介体连接区的中介体连接点;

一子板,设有至少一电子元件,所述子板具有朝向相反方向的一上表面及一下表面,所述子板的下表面具有至少一中介体连接区,所述子板的中介体连接区设有多个中介体连接点;

至少一中介体,连接所述母板的中介体连接点及所述子板的中介体连接点,使得所述子板以其下表面朝向所述母板的上表面且位置对应所述子板对应区地设置于所述母板上方,所述各第一测试接点及第二测试接点其中一部分与所述母板的中介体连接点电性连接并通过所述中介体与所述子板电性连接;

一探针头,设于所述母板的下表面,所述探针头设有位置对应于所述探针区的多个探针,各所述探针与所述各第一测试接点及第二测试接点至少其中之一电性连接,部分的所述探针通过所述母板及所述中介体与所述子板电性连接。

2.如权利要求1所述的可更换子板的探针卡,其特征在于:所述母板的第二测试区及中介体连接区共同围绕所述探针区。

3.如权利要求2所述的可更换子板的探针卡,其特征在于:所述母板具有多个所述第二测试区及多个所述中介体连接区,各所述中介体连接区位于二所述第二测试区之间。

4.如权利要求3所述的可更换子板的探针卡,其特征在于:所述母板具有位于所述探针区的二相对侧的二所述第二测试区,以及位于所述探针区的另二相对侧的二所述中介体连接区,所述母板能定义出一实质上通过各所述第二测试区中心的第一假想直线以及一实质上垂直于所述第一假想直线的第二假想直线,所述第二假想直线实质上通过所述母板的各所述中介体连接区中心。

5.如权利要求2所述的可更换子板的探针卡,其特征在于:所述母板具有一将其第二测试区及中介体连接区与所述第一测试区分隔开的中间区。

6.如权利要求1所述的可更换子板的探针卡,其特征在于:所述子板具有一位置对应所述探针区的电子元件区,以及位于所述电子元件区外围的多个所述中介体连接区,所述至少一电子元件设于所述电子元件区,所述母板具有位于所述探针区外围的多个所述中介体连接区,所述子板的中介体连接区通过多个所述中介体分别连接于所述母板的中介体连接区。

7.如权利要求1所述的可更换子板的探针卡,其特征在于:与所述中介体连接点电性连接的第一测试接点的数量大于与所述中介体连接点电性连接的第二测试接点的数量。

8.如权利要求1所述的可更换子板的探针卡,其特征在于:未与所述子板电性连接的第二测试接点在全部第二测试接点中所占的比例高于未与所述子板电性连接的第一测试接点在全部第一测试接点中所占的比例。

9.如权利要求1所述的可更换子板的探针卡,其特征在于:所述母板具有一位于所述探针区的下透光孔,所述子板具有一位置对应所述下透光孔的上透光孔。

10.如权利要求1所述的可更换子板的探针卡,其特征在于:所述子板的上表面设有多个电性接点,所述各电性接点位置对应所述子板的中介体连接区且分别与所述子板的中介体连接点电性连接。

11.如权利要求1所述的可更换子板的探针卡,其特征在于:所述中介体为一具有弹性顶针的电路板、一穿设有多个弹性件的连接板以及一异方性导电胶三者其中之一。

12.一种如权利要求1所述的可更换子板的探针卡的使用方法,包含有下列步骤:

a)使用所述探针卡测试一第一待测物;

b)备制适用于测试一第二待测物的另一子板;

c)拆卸所述探针卡的子板;

d)将所述另一子板安装于所述探针卡;

e)使用设有所述另一子板的探针卡测试所述第二待测物。

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