[发明专利]可更换子板的探针卡及其使用方法

说明书

技术领域

本发明与探针卡有关，特别是指一种可更换子板的探针卡及其使用方法。

背景技术

请参阅中国台湾专利编号577988的专利内容，所述专利所提供的探针卡主要包含有一母板、一设于母板底面且设有探针的探针头，以及一设于母板顶面的子板，母板的顶面设有多个用于与测试机电性连接的测试接点，通过母板及子板的内部电路以及设于母板及子板的电子元件所构成的处理电路，各测试接点分别与探针电性连接。此种探针卡中，可让处理电路的至少部分电子元件设于所述子板，以解决无子板的探针卡可供测试接点及处理电路设置的面积不足的问题。

随着现今电子产品的电子元件运作条件越趋高频，探针卡的性能需求也越趋高频化，探针卡必须能在受测的电子元件与测试机之间有效传输高频测试信号，如此方能准确地反应出测试结果。然而，习用的如前述具有子、母板的探针卡没有符合高频测试需求的设计，因此仍有待改进。

发明内容

针对上述问题，本发明的主要目的在于提供一种可更换子板的探针卡，可符合高频测试的需求。

为达到上述目的，本发明所提供的一种可更换子板的探针卡，其特征在于包含有：一母板，具有朝向相反方向的一上表面及一下表面、多个设于所述上表面的电性接点、一子板对应区，以及一位于所述子板对应区内的探针区，所述各电性接点将所述母板的上表面区分出一邻接所述母板一周缘的第一测试区、位于所述子板对应区与所述第一测试区之间的至少一第二测试区，以及位于所述子板对应区内的至少一中介体连接区，所述母板的电性接点包含有多个位于所述第一测试区的第一测试接点、多个位于所述第二测试区的第二测试接点，以及多个位于所述中介体连接区的中介体连接点；一子板，设有至少一电子元件，所述子板具有朝向相反方向的一上表面及一下表面，所述子板的下表面具有至少一中介体连接区，所述子板的中介体连接区设有多个中介体连接点；至少一中介体，连接所述母板的中介体连接点及所述子板的中介体连接点，使得所述子板以其下表面朝向所述母板的上表面且位置对应所述子板对应区地设置于所述母板上方，所述各第一测试接点及第二测试接点其中一部分与所述母板的中介体连接点电性连接并通过所述中介体与所述子板电性连接；一探针头，设于所述母板的下表面，所述探针头设有位置对应于所述探针区的多个探针，各所述探针与所述各第一测试接点及第二测试接点至少其中之一电性连接，部分的所述探针通过所述母板及所述中介体与所述子板电性连接。

由此，各第一测试接点及第二测试接点其中一部分能先将测试信号传送至子板，以使测试信号经由子板上的电子元件处理后再传送至探针；而各第一测试接点及第二测试接点中的另一部分则可将测试信号不经由子板直接传送至探针，未经子板的信号传送路径较短，可使测试信号受到较少的电磁干扰，因此适用于传送高频信号。此外，各第二测试接点比各第一测试接点更靠近子板及各探针，因此经由第二测试接点的信号传送路径也会较短，尤其是未与子板电性连接的第二测试接点更可符合高频测试需求。

上述本发明的技术方案中，所述母板的第二测试区及中介体连接区共同围绕所述探针区。

所述母板具有多个所述第二测试区及多个所述中介体连接区，各所述中介体连接区位于二所述第二测试区之间。由此，所述第二测试区与所述探针区之间不受中介体连接区分隔开，使得第二测试接点更靠近子板及探针，因此更缩短信号传送路径，探针甚至可直接焊接于所述母板下表面位置对应于第二测试区的电性接点，不但不会受到所述母板下表面位置对应于中介体连接区的电性接点影响，也不会增加布针复杂度，更可缩短信号传送路径。

所述母板具有位于所述探针区的二相对侧的二所述第二测试区，以及位于所述探针区的另二相对侧的二所述中介体连接区，所述母板能定义出一实质上通过各所述第二测试区中心的第一假想直线以及一实质上垂直于所述第一假想直线的第二假想直线，所述第二假想直线实质上通过所述母板的各所述中介体连接区中心。换言之，相邻的第二测试区与中介体连接区的中心位置约相差90度，如此设计使得所述母板的电性接点分布得更为简洁，不但可提高空间利用性，且可降低布针复杂度。

所述母板具有一将其第二测试区及中介体连接区与所述第一测试区分隔开的中间区。如此设计使得所述母板的电性接点分布得更为简洁、降低布针复杂度，并可供电子元件或其他电性接点设于所述中间区。