[发明专利]铝靶材制作方法

权利要求书

1.一种铝靶材的制作方法，其特征在于，包括：

形成铝板；形成所述铝板的步骤包括：提供金属料件，所述金属料件为铝；对所述金属料件进行锻打，制作成铝锭；对所述铝锭进行压延，制作成所述铝板；

对所述铝板进行喷砂；所述喷砂采用的是白刚玉粒度砂；所述喷砂的喷砂压力在3千克/平方厘米～5千克/平方厘米的范围内；

将喷砂后的铝板制作成铝靶材；

将喷砂后的铝板制作成铝靶材的步骤中，所述制作方法还包括：将喷砂后的铝板放入冲床模具中，通过冲压落料形成铝方片，对所述铝方片进行酸洗；

所述酸洗的步骤包括：

将所述铝方片放入航空煤油中浸泡，进行第一清洗；

第一清洗之后，将所述铝方片移至异丙醇溶液，进行第二清洗；

第二清洗之后，通过酸液对所述铝方片进行第三清洗；

通过纯水清洗所述铝方片，去除酸液残留；

对所述铝方片进行真空干燥，得到铝靶材；

所述酸液为硝酸与氢氟酸的混合酸，其中硝酸质量比为15％～20％，氢氟酸质量比为1％～3％；酸洗时间为3分钟～5分钟。

2.如权利要求1所述的制作方法，其特征在于，在进行所述喷砂之后，所述制作方法还包括：将所述喷砂后的铝板置于异丙醇溶液或纯水中进行喷砂后清洗。

3.如权利要求2所述的制作方法，其特征在于，进行所述喷砂后清洗的过程中采用超声波振荡9分钟～11分钟。

4.如权利要求1所述的制作方法，其特征在于，在进行所述酸洗的步骤中，将所述铝方片放置在滚筒中进行所述第一清洗、所述第二清洗及所述第三清洗；进行所述第一清洗及第二清洗的步骤中，所述滚筒保持静止；进行所述第三清洗的步骤中，使所述滚筒保持滚动。

5.如权利要求1所述的制作方法，其特征在于，在进行所述第一清洗、所述第二清洗及所述纯水清洗的步骤中，对所述铝方片进行超声波振荡。

6.如权利要求1所述的制作方法，其特征在于，在所述第一清洗的步骤中，进行超声波振荡的时间为10分钟～20分钟；在所述第二清洗的步骤中，进行超声波振荡的时间为5分钟～15分钟；在所述纯水清洗的步骤中，进行超声波振荡的时间为5分钟～10分钟。

7.如权利要求1所述的制作方法，其特征在于，所述真空干燥的真空度为0.01帕斯卡～0.03帕斯卡，温度为60摄氏度～80摄氏度，干燥时间为50分钟～70分钟。

8.如权利要求1所述的制作方法，其特征在于，将酸洗后的铝方片放置于无尘室中进行清洗处理、干燥及包装。

9.如权利要求8所述的制作方法，其特征在于，所述清洗处理、干燥及包装的步骤包括：

将所述铝方片置于异丙醇溶液中进行清洗处理；

将清洗处理后的所述铝方片进行干燥；

将干燥后的所述铝方片进行包装。

10.如权利要求8所述的制作方法，其特征在于，进行所述清洗处理时采用超声波振荡5分钟～15分钟。

11.如权利要求8所述的制作方法，其特征在于，所述干燥的步骤包括：将清洗处理后的所述铝方片置于真空干燥箱内，所述真空干燥箱的真空度为0.01帕斯卡～0.03帕斯卡，温度为60摄氏度～80摄氏度，干燥时间为50分钟～70分钟。

12.如权利要求1所述的制作方法，其特征在于，所述锻打的步骤包括：

对所述金属料件进行锻打预热；

对预热后的金属料件进行锻打成型，制作成铝锭；

将所述铝锭进行冷却处理。

13.如权利要求12所述的制作方法，其特征在于，所述锻打预热的预定温度范围在250摄氏度～350摄氏度。