[发明专利]一种用于平面波导传感器芯片的微流通道的制备方法

说明书

技术领域

本发明涉及平面波导传感器芯片领域，具体涉及用于平面波导传感器芯片的微流通道的制备方法。

背景技术

微流控芯片是指通过微细加工技术，比如单晶硅片的湿法刻蚀和硅橡胶压印构建的由储液池、微反应室、微通道等微功能元件构成的微流系统芯片，在这种芯片上集成微反应室可进行复杂的反应，从而实现对样本的快速分析，因而，该类芯片已被广泛用于生物，化学领域的微量检测。微流通道的大小一般为微米级别，因此很大程度地解决了样本量非常少比如体积一微升左右的样品的处理。平面光波导生物传感器的微流通道在采用聚二甲基硅氧烷(PDMS)为载体，制作出抗腐蚀性微流通道时，制备好的微流通道从模板上取出时容易破损影响后续使用。

发明内容

为了解决现有技术中平面波导传感器芯片的微流通道在脱模过程中容易破损的技术问题，本发明提出一种用于平面波导传感器芯片的微流通道的制备方法。

本发明的技术问题通过以下的技术方案予以解决：一种用于平面波导传感器芯片的微流通道的制备方法，包括以下步骤：S1、将图案刻入到可拆卸模具的衬底上；S2、配制PDMS胶，注入到步骤S1中的所述模具，之后进行脱泡、固化处理，形成所述微流通道；S3、拆卸所述模具的侧壁，再将步骤S2中所述微流通道从所述衬底上剥离下来，得到所述微流通道。

具体地，步骤S1包括：

T1、选择与所述图案尺寸相匹配的所述衬底；

T2、将所述图案刻入到所述衬底上获取微流通道模板；

T3、将侧壁与所述衬底组装成上端开口的所述模具。

具体地，在步骤T2中，包括在所述图案上进行匀胶处理，用于防止剥离所述微流通道时对所述微流通道模板的损伤。

进一步地，所述匀胶处理包括以下：

C1、将AZ5214胶和异丙醇按体积比1:10-1:8混合均匀，静置处理，取上清液进行匀胶；

C2、将匀胶后的衬底进行烘干处理。

更进一步地，在步骤T2中包括：

D1、将光刻胶聚甲基丙烯酸甲酯旋涂在所述衬底上；

D2、将所述衬底烘干，之后进行曝光处理，从而将图案转移到所述衬底上；

D3、将曝光后的所述衬底进行显影，再置于IPA中浸泡，之后用去离子水冲洗干净，最后烘干。

具体地，其特征在于，在步骤S3中，所述侧壁由至少两个可拆卸部分构成。

进一步地，所述可拆卸部分之间、所述侧壁与所述衬底是通过高温胶带固定。

具体地，在步骤S2中，所述PDMS胶是由PDMS胶前驱体和固化剂以10:1的质量比构成。

具体地，在步骤S2中，所述脱泡时间为4-10min；所述固化处理的温度为80-130℃,时间为10-30min。

本发明还包括一种采用上述任一所述用于平面波导传感器芯片的微流通道的制备方法在制备平面波导传感器芯片的微流通道的应用。

本发明与现有技术对比的有益效果包括：通过采取可拆卸模具制备微流通道模具，采用PDMS胶制备微流通道，取出制备好的微流通道时，先将模具的侧壁从模具上拆卸下来，再将微流通道从衬底上剥离出来，保证了微流通道的完整性，方法简单实用。

在某些优选的实施例中的有益效果还包括：在图案上进行匀胶处理，防止在剥离所述微流通道时对所述微流通道模板的损伤，延长了微流通道模板的使用寿命。

附图说明

图1是本发明实施例1中衬底的俯视图。

图2是本发明实施例1中衬底的主视图。

图3是本发明实施例2中微流通道模板的立体图。

图4本发明实施例2中模具的结构示意图。

图5是本发明实施例3中打孔后的微流通道结构示意图。

图6是本发明实施例3中微流通道固定在平面波导传感器芯片上的立体图。

具体实施方式

下面对照附图并结合优选的实施方式对本发明作进一步说明。

需要说明的是，PDMS是指聚二甲基硅氧烷，MIPK是指甲基异丙稀基甲酮、IPA是指异丙醇，这几种溶液都为工业级别的溶液。

实施例1

一种用于平面波导传感器芯片的微流通道的制备方法，包括以下步骤：

S1、将图案刻入到可拆卸模具的衬底上；

S2、配制PDMS胶，注入到步骤S1中的所述模具，之后进行脱泡、固化处理，形成所述微流通道；

S3、拆卸所述模具的侧壁，再将步骤S2中所述微流通道从所述衬底上剥离下来，得到所述微流通道。